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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Inhalt Ausgabe 04/2018 5 2.8.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58 2.8.3 Testen . . . . .…

Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)

Ausgabe 04/2018

2 Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35

2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

2.1.1 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35

2.1.2 Qualifiziertes Personal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36

2.1.3 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36

2.1.3.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36

2.1.3.2 Zur Sicherheit von Personen und Bedienpersonal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37

2.1.3.3 Zur Sicherheit von Anlagen und Geräten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38

2.2 Warnschilder am SIPLACE Wafer System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39

2.2.1 Übersicht über die Warnschilder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39

2.2.2 Warnschilder. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41

2.2.2.1 Warnschild W201 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41

2.2.2.2 Warnschild W204 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41

2.2.2.3 Warnschild W206 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41

2.2.2.4 Warnschild W210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42

2.2.3 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43

2.2.4 Warnhinweis auf der Linear-Dipping-Unit (LDU X). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44

2.2.5 Warnhinweis auf der Flip-Unit und der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45

2.3 Sicherheitshinweise zum Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .46

2.4 Sicherheitshinweise zum Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47

2.4.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der seitlichen Schiebetüren. . . . . . . . . . . . . .47

2.4.2 Hinweis zur EGB-Sicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48

2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49

2.5.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49

2.5.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49

2.5.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der SWS Schiebetür . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50

2.5.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU X) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50

2.6 Sicherheitseinrichtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51

2.6.1 Schiebetür . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51

2.6.2 NOT-HALT-Taster und Hauptschalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52

2.6.3 Sicherheitsabschaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54

2.6.3.1 Voraussetzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54

2.6.3.2 Komponenten der Sicherheitsabschaltung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54

2.6.3.3 NOT-HALT aktivieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55

2.6.3.4 NOT-HALT zurücksetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55

2.6.3.5 Rückstellen der Verriegelung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55

2.6.3.6 Auslösen der Verriegelung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55

2.6.4 Energiezustand des SWS nach Ausschalten des Hauptschalters . . . . . . . . . . . . .56

2.6.5 Druckluftverhältnisse im SWS nach Abschalten des Hauptschalters. . . . . . . . . . .56

2.7 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57

2.8 Verriegeln und Anbringen von Warnschildern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58

2.8.1 Aufgabe und Zweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58

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Ausgabe 04/2018

2.8.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

2.8.3 Testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

2.8.4 Verantwortung und Pflichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

2.8.5 Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

2.9 EGB-Richtlinien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

2.9.1 Was bedeutet EGB? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

2.9.2 Wichtige Schutzmaßnahmen gegen statische Aufladung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

3 Technische Daten und Baugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63

3.1 Technische Daten - SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

3.2.1 Umweltbedingungen für das Verpacken, den Transport und die Lagerung. . . . . . 64

3.2.2 Umweltbedingungen für den Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

3.2.3 Elektrische Anschlusswerte und Energieverbrauch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

3.2.4 Druckluftspezifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

3.2.5 Abmessungen und Gewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

3.2.5.1 Übersicht der Abmessungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

3.2.6 Schwerpunkt des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

3.3 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

3.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

3.4.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

3.4.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72

3.4.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

3.4.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

3.4.4.1 Wafer-Aufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75

3.4.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77

3.4.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

3.4.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79

3.4.7.1 Magazin-Lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

3.4.7.2 Justierbare Magazinplatte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

3.4.7.3 Wafer-Wechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83

4 Aufstellen und Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85

4.1 Anlieferungskonfiguration und Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

4.1.1 Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

4.1.1.1 Abmessungen der Transportverpackung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

4.1.1.2 Gewicht des versandfertigen SIPLACE Wafer System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

4.1.2 Das SWS in der Transportkiste transportieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

4.1.2.1 Dienstleistungsangebot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

4.1.2.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

4.1.2.3 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

4.1.3 Das SWS ohne Transportkiste oder Palette transportieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87

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4.1.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87

4.1.3.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87

4.1.3.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88

4.1.3.4 Was Sie beim Transport des SWS unbedingt beachten sollten. . . . . . . . . . . . . . .88

4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89

4.2.1 Gewicht und Flächenlast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89

4.2.2 Druckluftversorgung am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89

4.2.3 Netzversorgung am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89

4.2.3.1 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89

4.2.3.2 Netzversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .90

4.2.4 Entfernen der Transportsicherung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91

4.2.5 Korrosionsschutzmittel von den Führungsschienen entfernen. . . . . . . . . . . . . . . .91

4.2.6 Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91

5 Aufgaben am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .93

5.1 Magazin befüllen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93

5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94

5.2.1 Magazin-Lift aufschwenken und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94

5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95

5.3.1 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal 03098221-xx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97

5.4 Tools und Pipetten an der Flip-Unit kontrollieren und rüsten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99

5.5 Abwurfbehälter der Flip-Unit kontrollieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100

5.6 Bauelemente am SWS mit Wafer-Wechsler-System nachfüllen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100

5.7 Tätigkeiten zum Schichtwechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100

5.8 Rüstung am SWS wechseln . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101

5.9 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102

5.9.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102

5.9.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103

5.9.3 Ergonomische Anordnung der Bedienelemente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104

5.9.3.1 Bedienelemente an den Bedienfeldern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104

5.10 Ein- und Ausschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105

5.10.1 Einschalten des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105

5.10.2 Ausschalten des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105

5.11 Die Bedienoberfläche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106