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2 Betriebssicherheit Betrie bsanlei tung SIPLACE Wafer System (SWS) 2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS Ausgabe 02/2018 50 2.5.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der SWS Schiebetür 2 – Die SWS Schiebetür kann im…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 2 Betriebssicherheit
Ausgabe 02/2018 2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS
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2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS
2.5.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch
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2.5.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine
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WARNUNG
Quetschgefahr!
Der Wafer-Tisch kann Quetschungen verursachen.
Greifen Sie nie mit der Hand durch den Schlitz im Magazin-Lift in Richtung Wafer-
Tisch.
WARNUNG
Schwere Wafermagazine!
Ein volles Wafermagazin kann bis zu 25 kg wiegen.
Hantieren Sie entsprechend vorsichtig mit dem Wafermagazin.
Ziehen Sie ggf. eine weitere Person hinzu.
VORSICHT
Beschädigungsgefahr bei unsachgemäßer Handhabung!
Bei unsachgemäßer Handhabung können das Wafer-Magazin und der Magazin-Lift be-
schädigt werden.
Achten Sie darauf, dass nichts aus dem Magazin-Lift herausragt.
Achten Sie darauf, dass nur das vorgesehene Wafer-Magazin ordnungsgemäß auf
die Magazin-Lift-Platte gestellt wird.
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS Ausgabe 02/2018
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2.5.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der SWS Schiebetür
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– Die SWS Schiebetür kann im Betrieb zum Tausch des Wafer-Magazins geöffnet werden - das
SWS produziert weiter. Das Öffnen der SWS Schiebetür setzt nur den Magazin-Lift außer Be-
trieb.
2.5.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU X)
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WARNUNG
Quetschgefahr!
Beim Schließen der SWS Schiebetür besteht Quetschgefahr für die Hände.
Fassen Sie zum Öffnen bzw. Schließen der SWS Schiebetür diese grundsätzlich in
die dafür vorgesehene Griffmulde. Siehe in Abb. 2.6 - 1
, Seite 51,
GEFAHR
Gefahrenstoffe (Flussmittel)!
Die Flussmittel der LDU X sind gesundheitsschädlich!
Beachten Sie unbedingt das dem Flussmittel beigefügte Sicherheitsdatenblatt (Mate-
rial Safety Datasheet - MSDS)
Achten Sie darauf, dass die vorgeschriebenen Maßnahmen erfüllt werden.
Tragen Sie beim Befüllen und beim Reinigen der LDU X sowie beim Entsorgen der
Flussmittel stets die vorgeschriebene Schutzkleidung (z. B. Atemschutz, Hand-
schuhe, Brille).
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 2 Betriebssicherheit
Ausgabe 02/2018 2.6 Sicherheitseinrichtungen
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2.6 Sicherheitseinrichtungen
2.6.1 Schiebetür
Der Innenbereich des SIPLACE Wafer Systems ist mit einer beweglichen Schiebetür abgedeckt.
Die Schiebetür und Abdeckungen dienen als trennende Schutzeinrichtung und verhindern einen
Zugriff in den Innenraum des SIPLACE Wafer Systems.
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Abb. 2.6 - 1 Schiebetür und Abdeckungen
(1) SWS Magazin-Lift
(2) SWS Schiebetür
(3) Griffmulde zum Öffnen des SWS
(4) Tür mit Sicherheitsschalter
Der SWS Magazin-Lift ist mit einer Schiebetür (Pos.1) abgedeckt.
VORSICHT
Beschädigungsgefahr!
Die Schiebetür und Abdeckungen können bei zu hoher Belastung beschädigt werden.
Betreten oder besteigen Sie nicht das SIPLACE Wafer System.
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