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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer Sy stem (S WS) 2 Betriebssicherheit Ausgabe 02/2018 2.6 Sicherheitseinrichtungen 55 2.6.3.3 NOT -HAL T aktivieren Das SIPLACE W afer System (SWS) kann im Prob lemfall durch Drücken des NOT…
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
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2.6.3 Sicherheitsabschaltung
Die Sicherheitsabschaltung des SIPLACE Wafer System (SWS) ist mit der SIPLACE CA4 V2 ver-
riegelt, so dass das SIPLACE Wafer System nur aktiv ist, wenn die Sicherheitsabschaltung (CSB)
der SIPLACE CA4 V2 aktiv ist.
Der NOT-HALT-Taster des SIPLACE Wafer System wirkt auf die Sicherheitsabschaltung (CSB)
der SIPLACE CA4 V2 so, dass bei Betätigung die Not-Halt Funktion der SIPLACE CA4 V2 und
auch die Not-Halt Funktion des SIPLACE Wafer System über dessen eigene Sicherheitsabschal-
tung ausgelöst wird.
2.6.3.1 Voraussetzungen
Für das Starten und für den Betrieb des SWS mit der SIPLACE CA4 V2 müssen folgende Bedin-
gungen erfüllt sein:
– Alle BE-Wagen müssen angedockt sein.
– Die SIPLACE Wafer System-Module müssen eingebaut und angeschlossen sein (Interface-
Stecker X1*3).
– Die Schiebetür der eingebauten SIPLACE Wafer System-Module muss geschlossen sein.
– Alle Schutzhauben der SIPLACE CA4 V2 müssen geschlossen sein.
– Alle seitlichen Schiebetüren der SIPLACE CA4 V2 müssen geschlossen sein.
– Die zwei NOT-HALT-Taster an der SIPLACE CA4 V2 und am SIPLACE Wafer System (ein
NOT-HALT-Taster pro SWS) müssen entriegelt sein.
– Der Mindestbetriebsdruck muss erreicht sein.
– Die Softwarefreigabe ("Control ON") muss aktiviert sein.
Wird jetzt einer der Starttaster gedrückt, schaltet die Sicherheitsabschaltung (CSB) die Versor-
gungsspannungen ein. Das SWS und die SIPLACE CA4 V2 sind betriebsbereit.
2.6.3.2 Komponenten der Sicherheitsabschaltung
Folgende Komponenten werden durch die Sicherheitsabschaltung überwacht:
– Positionsschalter der vier Schutzhauben der SIPLACE CA4 V2
– Positionsschalter der vier seitlichen Schiebetüren der SIPLACE CA4 V2
– Positionsschalter der Schiebetür des SIPLACE Wafer Systems (SWS)
– Zwei NOT-HALT-Taster der SIPLACE CA4 V2
– NOT-HALT-Taster des SIPLACE Wafer Systems (SWS)
– Positionsschalter der BE-Wagen Einzüge der SIPLACE CA4 V2
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2.6.3.3 NOT-HALT aktivieren
Das SIPLACE Wafer System (SWS) kann im Problemfall durch Drücken des NOT-HALT-Tasters
gestoppt werden.
Ein NOT-HALT kann ausgelöst werden durch:
– Betätigen des NOT-HALT-Tasters am SIPLACE Wafer System (SWS)
– Betätigen eines NOT-HALT-Tasters an der SIPLACE CA4 V2
In diesen Fällen werden die Sicherheitsabschaltungen von SIPLACE CA4 V2 und
SIPLACE Wafer System ausgelöst und die Leistungsschütze innerhalb von 100 ms bzw. 500 ms
abgeschaltet (STOPP-Kategorie 1, gesteuertes Stillsetzen mit Unterbrechung der Energiezufuhr
bei Stillstand).
2.6.3.4 NOT-HALT zurücksetzen
Um einen NOT-HALT zurückzusetzen, müssen Sie die NOT-HALT-Taster der SIPLACE CA4 V2
und des SIPLACE Wafer System (SWS) entriegelt werden.
Ermitteln Sie die Ursache für das Auslösen des NOT-HALT-Tasters.
Beseitigen Sie das Problem.
Entriegeln Sie die den jeweiligen NOT-HALT-Taster an der SIPLACE CA4 V2 oder am
SIPLACE Wafer System (SWS).
2.6.3.5 Rückstellen der Verriegelung
Schließen Sie eine geöffnete Schutzhaube/Schiebetüre an der SIPLACE CA4 V2.
Schließen Sie die geöffnete Schiebetür am SIPLACE Wafer System (SWS).
2.6.3.6 Auslösen der Verriegelung
Öffnen einer Schutzhaube/Schiebetüre an der SIPLACE CA4 V2.
Öffnen Sie die Schiebetür am SIPLACE Wafer System (SWS).
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2.6.4 Energiezustand des SWS nach Ausschalten des Hauptschalters
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2.6.5 Druckluftverhältnisse im SWS nach Abschalten des Hauptschalters
Beim Ausschalten des Hauptschalters oder Ausfall der Netzversorgung schließt das elektrisch ge-
steuerte Hauptventil der Drucklufteinheit. Der Druck fällt innerhalb von 5 s auf 0 MPa (0 bar) ab.
VORSICHT
Beachten Sie, dass jedes SIPLACE Wafer System einen eigenen Hauptschalter hat.
GEFAHR
Lebensgefährliche Spannungen im Stromversogungseinschub!
Am Stromversorgungseinschub befinden sich Komponenten (z. B. der Netzfilter), welche
auch im ausgeschalteten Zustand lebensgefährliche Spannungen führen können.
Nur Servicetechniker der ASM Assembly Systems GmbH&Co.KG bzw. bei ASM ge-
schulte Servicetechniker des Betreibers dürfen Arbeiten an der Stromversorgung
und der Sicherheitsabschaltung (CSB) durchführen.
VORSICHT
Datenverlust!
Um Datenverlust zu vermeiden, schalten Sie das SIPLACE Wafer System - außer in Not-
fällen - erst nach folgenden Kriterien aus:
– Das SIPLACE Wafer System hat die Datenübertragung beendet.
– Das SIPLACE Wafer System hat die Bearbeitung beendet.
– Das SIPLACE Wafer System hat die Shut-Downphase beendet.