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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer Sy stem (S WS) 2 Betriebssicherheit Ausgabe 02/2018 2.7 Sperren der Druckluftzufuh r und Druckabbau 57 2.7 Sperren der Druckluf tzufuhr und Druckabbau Die Drucklufteinheit be findet sich a…
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
2.6 Sicherheitseinrichtungen Ausgabe 02/2018
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2.6.4 Energiezustand des SWS nach Ausschalten des Hauptschalters
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2.6.5 Druckluftverhältnisse im SWS nach Abschalten des Hauptschalters
Beim Ausschalten des Hauptschalters oder Ausfall der Netzversorgung schließt das elektrisch ge-
steuerte Hauptventil der Drucklufteinheit. Der Druck fällt innerhalb von 5 s auf 0 MPa (0 bar) ab.
VORSICHT
Beachten Sie, dass jedes SIPLACE Wafer System einen eigenen Hauptschalter hat.
GEFAHR
Lebensgefährliche Spannungen im Stromversogungseinschub!
Am Stromversorgungseinschub befinden sich Komponenten (z. B. der Netzfilter), welche
auch im ausgeschalteten Zustand lebensgefährliche Spannungen führen können.
Nur Servicetechniker der ASM Assembly Systems GmbH&Co.KG bzw. bei ASM ge-
schulte Servicetechniker des Betreibers dürfen Arbeiten an der Stromversorgung
und der Sicherheitsabschaltung (CSB) durchführen.
VORSICHT
Datenverlust!
Um Datenverlust zu vermeiden, schalten Sie das SIPLACE Wafer System - außer in Not-
fällen - erst nach folgenden Kriterien aus:
– Das SIPLACE Wafer System hat die Datenübertragung beendet.
– Das SIPLACE Wafer System hat die Bearbeitung beendet.
– Das SIPLACE Wafer System hat die Shut-Downphase beendet.
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 2 Betriebssicherheit
Ausgabe 02/2018 2.7 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau
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2.7 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau
Die Drucklufteinheit befindet sich auf der hinteren Seite des SWS (siehe Abb. 2.7 - 1, Seite 57).
Der Betriebsdruck des SWS ist auf 0,50 ± 0,025 MPa (5,0 ± 0,25 bar) fest eingestellt.
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Abb. 2.7 - 1 Elektrische und pneumatische Anschlussstelle am SWS (Beispiel SWS 2/4)
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WARNUNG
Verletzungsgefahr!
Bei Druckluftleitungen, die unter Druck stehen, besteht Verletzungsgefahr. Die
Druckluftversorgung des SWS wird von der SIPLACE CA4 V2 bereitgestellt.
Schalten Sie die Druckluft an der SIPLACE CA4 V2 aus.
Lösen Sie niemals Druckluftleitungen, die unter Druck stehen.
(1) Einstellung der Blasluft für Flip Kopf Seg-
mente bzw. Die Attach Segment
(2) Spannungsversorgung
(3) Interface Sicherheitsabschaltung mit SIP-
LACE CA4 V2
(4) CAN-Bus (nur für SW 605.x)
(5) Öffnung für Druckluftschlauch von der
SIPLACE CA4 V2
(6) LAN1 - Kommunikation mit externen Map-
server
(7) LAN2 -Kommunikation mit SIPLACE CA4
V2 und evtl. anderen SWS
(1)
(2)
(3)
(4)
(6)
(7)
(5)
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
2.8 Verriegeln und Anbringen von Warnschildern Ausgabe 02/2018
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2.8 Verriegeln und Anbringen von Warnschildern
2.8.1 Aufgabe und Zweck
Bevor Sie an am SIPLACE Wafer System Instandhaltungs- oder Servicearbeiten in irgendeiner
Form ausführen, müssen Sie diesen gegen Wiedereinschalten sichern und dazu entsprechende
Warnschilder anbringen. Wenn Sie sich strikt an die nachstehend beschriebene Vorgehensweise
halten, ist eine Verletzungsgefahr für Mitarbeiter ausgeschlossen.
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2.8.2 Beschreibung
Halten Sie sich immer an die nachstehend beschriebene Vorgehensweise, wenn Sie die Energie
im SIPLACE Wafer System freischalten, regeln oder freisetzen wollen.
Unterrichten Sie darüber alle betroffenen Mitarbeiter.
Schalten Sie das SIPLACE Wafer System bzw. alle Zusatzgeräte ab. Führen Sie dazu die
normalen Abschaltverfahren durch:
– Fahren Sie das SIPLACE Wafer System herunter.
– Schalten Sie das SIPLACE Wafer System am Hauptschalter aus.
Trennen Sie das SIPLACE Wafer System von all seinen Energiequellen:
– Schalten Sie die Druckluft an der SIPLACE CA4 V2 ab und unterbrechen sie somit die
Druckluftzuführung zum SIPLACE Wafer System.
– Unterbrechen Sie die Netzversorgung des SIPLACE Wafer Systems.
Verriegeln Sie die Anlagen.
– Bringen Sie überall ein Schloss an, wo dies möglich ist (z.B. am Hauptschalter).
HINWEIS
Mindestanforderungen
Dieses Verfahren beinhaltet die Mindestanforderungen, die an das Verfahren zum Ver-
riegeln bzw. Anbringen von Warnschildern bei Instandhaltungs- und Servicearbeiten ge-
stellt werden. Zusätzliche Sicherheitsmaßnahmen, die nötig sind, um die Arbeit sicher zu
beenden, können von der Arbeitssicherheit, dem Sicherheitsbeauftragten, dem Sicher-
heitskommittee und der Gesundheitsabteilung spezifiziert werden.