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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen Ausgabe 02/2018 3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte 67 3.2.6 Schwerpunkt des SWS 3 Abb. 3.2 - 2 Schwerpunkt des SWS 3 Schwerpunktkoordin…
3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte Ausgabe 02/2018
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3.2.5.1 Übersicht der Abmessungen
3
Abb. 3.2 - 1 Übersicht der Abmessungen - SIPLACE Wafer System
(1) 1650 mm
(2) 650 mm
(3) 1479 mm
(4) 510 mm
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen
Ausgabe 02/2018 3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte
67
3.2.6 Schwerpunkt des SWS
3
Abb. 3.2 - 2 Schwerpunkt des SWS
3
Schwerpunktkoordinaten:
SWS X-Koordinate
Y-Koordinate
0 mm
650 mm
3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.3 Baugruppenübersichten Ausgabe 02/2018
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3.3 Baugruppenübersichten
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Abb. 3.3 - 1 Übersicht SWS
3
(1) Greifer (2) Flip-Unit
(3) Einbauplatz für Optionen (Die-Attach Unit
oder LDU X)
(4) Die-Ejector
(5) Versorgungseinheit (6) XY-Unit
(7) Magazin-Lift
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