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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen Ausgabe 02/2018 3.3 Baugruppenübersichten 69 3 Abb. 3.3 - 2 V ersorgun gseinheit des SWS von vorne 3 (1) Elektroeinschub vorne (2) Computerei…
3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.3 Baugruppenübersichten Ausgabe 02/2018
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3.3 Baugruppenübersichten
3
Abb. 3.3 - 1 Übersicht SWS
3
(1) Greifer (2) Flip-Unit
(3) Einbauplatz für Optionen (Die-Attach Unit
oder LDU X)
(4) Die-Ejector
(5) Versorgungseinheit (6) XY-Unit
(7) Magazin-Lift
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7
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen
Ausgabe 02/2018 3.3 Baugruppenübersichten
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3
Abb. 3.3 - 2 Versorgungseinheit des SWS von vorne
3
(1) Elektroeinschub vorne (2) Computereinheit
(3) Trafo (4) Druckschalter
(5) Netzfilter (6) Magnetventil
(7) Abdeckung
3
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1
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6
5
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3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.3 Baugruppenübersichten Ausgabe 02/2018
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3
Abb. 3.3 - 3 Baugruppenübersicht des SWS
(1) Klemmeinheit (2) Wafer-Kamera
(3) Flip-Unit (4) Wafer-Aufnahme
(5) Führung
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3
1
2
5