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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Inhalt Ausgabe 04/2018 7 6 Optionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107 6.1 Pipettenwechsler . . …

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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
Ausgabe 04/2018
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4.1.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.1.3.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.1.3.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88
4.1.3.4 Was Sie beim Transport des SWS unbedingt beachten sollten. . . . . . . . . . . . . . .88
4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.1 Gewicht und Flächenlast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.2 Druckluftversorgung am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.3 Netzversorgung am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.3.1 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.3.2 Netzversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .90
4.2.4 Entfernen der Transportsicherung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
4.2.5 Korrosionsschutzmittel von den Führungsschienen entfernen. . . . . . . . . . . . . . . .91
4.2.6 Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
5 Aufgaben am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .93
5.1 Magazin befüllen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94
5.2.1 Magazin-Lift aufschwenken und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94
5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95
5.3.1 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal 03098221-xx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97
5.4 Tools und Pipetten an der Flip-Unit kontrollieren und rüsten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
5.5 Abwurfbehälter der Flip-Unit kontrollieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.6 Bauelemente am SWS mit Wafer-Wechsler-System nachfüllen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.7 Tätigkeiten zum Schichtwechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.8 Rüstung am SWS wechseln . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
5.9 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.9.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.9.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.9.3 Ergonomische Anordnung der Bedienelemente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
5.9.3.1 Bedienelemente an den Bedienfeldern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
5.10 Ein- und Ausschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
5.10.1 Einschalten des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
5.10.2 Ausschalten des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
5.11 Die Bedienoberfläche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106
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6.1 Pipettenwechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.1.1 Lage der Pipettenwechsler - Beispiel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.2 Optionale Komponenten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6.2.1 Linear-Dipping-Unit (LDU SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6.2.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
6.2.3 Barcodescanner. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
6.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
6.3.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
6.3.3 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
6.3.4 Stretch-Höhe mechanisch einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.4.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.4.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
6.3.5 Rahmenbreite bei 8" Waferaufnahme einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
6.3.5.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
6.3.5.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
6.3.6 SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
6.3.6.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
6.3.6.2 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
6.3.6.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
6.3.6.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
7 Instandhaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
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