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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen Ausgabe 02/2018 3.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen 81 3.4.7.1 Magazin-Lif t 3 Abb. 3.4 - 9 Magazin-Lift (1) Magazin-Einschub mit justierbare…
3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen Ausgabe 02/2018
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Abb. 3.4 - 8 Wafer-Wechsler-System
(1) Wafer-Wechsler mit Greifer
(2) Magazin-Lift
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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen
Ausgabe 02/2018 3.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen
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3.4.7.1 Magazin-Lift
3
Abb. 3.4 - 9 Magazin-Lift
(1) Magazin-Einschub mit justierbarer Magazinplatte
(2) Motor
(3) Wafer-Wechsler mit Abdeckung
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3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen Ausgabe 02/2018
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3.4.7.2 Justierbare Magazinplatte
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Abb. 3.4 - 10 Justierbare Magazinplatte
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Die Anschlagsleisten können in die entsprechenden Positionen für 6", 8"oder 12 "-Magazinen
montiert werden.
(1) Anschlagleiste fixe Montageposition (für
6", 8"oder 12 " Magazine
(2) Anschlagsleiste variable Montageposition
(für 6", 8"oder 12 " Magazine
(3) Magazinerkennung
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