00198370-01_UM_SWS-DE - 第91页
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 4 Aufstellen und Inbetriebnahme Ausgabe 02/2018 4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts 91 4.2.4 Ent fernen der T ransport sicherung – Entfern en Sie sämtliche Klebebänder und …
4 Aufstellen und Inbetriebnahme Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts Ausgabe 02/2018
90
4
4.2.3.2 Netzversorgung überprüfen
Überprüfen Sie, ob die Netzversorgung den vorgeschriebenen Maschinenspezifikationen ent-
spricht (siehe Tabelle in Abschnitt 3.2.3
, Seite 64).
4
GEFAHR
Lebensgefährliche Spannungen unter der Abdeckung der Sicherheitsabschaltung (CSB)!
Unter der Abdeckung befinden sich Komponenten, welche auch im ausgeschalteten Zu-
stand der Maschine und bei gezogenem Netzstecker, lebensgefährliche Spannungen füh-
ren können. Warten Sie nach Ziehen des Netzsteckers 5 Minuten, bis sich die
Kondensatoren entladen haben.
Öffnen Sie niemals die Abdeckungen.
Nur Servicetechniker der ASM Assembly Systems GmbH&Co.KG bzw. bei ASM ge-
schulte Servicetechniker des Betreibers dürfen Arbeiten an der Stromversorgung
und der Sicherheitsabschaltung (CSB) durchführen.
HINWEIS
Spitzenlasten in der Stromversorgung
Technisch bedingt treten in der Stromversorgung Spitzenlasten auf.
Bitte klären Sie gegebenenfalls die Netzimpedanz mit Ihrem Energieversorgungsun-
ternehmen ab.
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 4 Aufstellen und Inbetriebnahme
Ausgabe 02/2018 4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts
91
4.2.4 Entfernen der Transportsicherung
– Entfernen Sie sämtliche Klebebänder und Kabelbinder die als Transportsicherungen an die
verschiedenen Komponenten angebracht sind:
– Abwurfbehälter mit grauem Klebeband fixiert
– Wafer-Tisch X-Achse mit Kabelbindern fixiert
– Wafer-Tisch Y-Achse mit Kabelbindern fixiert
– Greifer mit Kabelbindern fixiert
– Flip-Unit mit Kabelbindern fixiert
– Wafer-Wechsler-Zuführachse (falls vorhanden)
4.2.5 Korrosionsschutzmittel von den Führungsschienen entfernen
Prüfen Sie ob das SWS mit einem Korrosionsschutzmittel behandelt wurde. Dieses muss vor der
Inbetriebnahme entfernt werden.
4
4
4.2.6 Stromversorgung
Schließen Sie nach der endgültigen Justage das SWS an das Stromnetz an.
VORSICHT
Reduktion der Lebensdauer von Lagern und Führungsschienen!
Vermischt sich das Korrosionsschutzmittel mit dem Lagerfett der Achsen, kann dies zu ei-
ner erheblichen Reduktion der Lebensdauer von Lagern und Führungsschienen führen.
Entfernen Sie den Korrosionsschutz von allen Achsen und Lagern, wenn sie bei der
Inbetriebnahme zum ersten Mal die Maschinenachsen verfahren.
Fetten Sie alle Achsen und Lager mit dem in der Instandhaltungsanleitung beschrie-
benen Fett nach.
VORSICHT
Zerstörungsgefahr von Lagerfett!
Alkohol zerstört das Lagerfett in den Führungswagen.
Verhindern Sie, dass beim Reinigen der Führungsschienen und Maßstäbe Alkohol in
die Führungswagen gelangt.
4 Aufstellen und Inbetriebnahme Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts Ausgabe 02/2018
92