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4 Aufstellen und Inbetriebnahme Betriebsanl eitung SIPLACE Wafer System (SWS) 4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts Ausgabe 02/2018 92
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 4 Aufstellen und Inbetriebnahme
Ausgabe 02/2018 4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts
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4.2.4 Entfernen der Transportsicherung
– Entfernen Sie sämtliche Klebebänder und Kabelbinder die als Transportsicherungen an die
verschiedenen Komponenten angebracht sind:
– Abwurfbehälter mit grauem Klebeband fixiert
– Wafer-Tisch X-Achse mit Kabelbindern fixiert
– Wafer-Tisch Y-Achse mit Kabelbindern fixiert
– Greifer mit Kabelbindern fixiert
– Flip-Unit mit Kabelbindern fixiert
– Wafer-Wechsler-Zuführachse (falls vorhanden)
4.2.5 Korrosionsschutzmittel von den Führungsschienen entfernen
Prüfen Sie ob das SWS mit einem Korrosionsschutzmittel behandelt wurde. Dieses muss vor der
Inbetriebnahme entfernt werden.
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4.2.6 Stromversorgung
Schließen Sie nach der endgültigen Justage das SWS an das Stromnetz an.
VORSICHT
Reduktion der Lebensdauer von Lagern und Führungsschienen!
Vermischt sich das Korrosionsschutzmittel mit dem Lagerfett der Achsen, kann dies zu ei-
ner erheblichen Reduktion der Lebensdauer von Lagern und Führungsschienen führen.
Entfernen Sie den Korrosionsschutz von allen Achsen und Lagern, wenn sie bei der
Inbetriebnahme zum ersten Mal die Maschinenachsen verfahren.
Fetten Sie alle Achsen und Lager mit dem in der Instandhaltungsanleitung beschrie-
benen Fett nach.
VORSICHT
Zerstörungsgefahr von Lagerfett!
Alkohol zerstört das Lagerfett in den Führungswagen.
Verhindern Sie, dass beim Reinigen der Führungsschienen und Maßstäbe Alkohol in
die Führungswagen gelangt.
4 Aufstellen und Inbetriebnahme Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts Ausgabe 02/2018
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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS
Ausgabe 02/2018 5.1 Magazin befüllen
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5 Aufgaben am SWS
Dieses Kapitel enthält eine Anzahl von Themen, die Sie bei der täglichen Arbeit an einer
SIPLACE-Linie unterstützen sollen. So wird Ihnen z. B. Hilfestellung gegeben, wie Sie schon im
Vorfeld die notwendigen Maßnahmen treffen können, um die Maschinenstillstandszeiten zu mini-
mieren, sodass eine möglichst hohe Effizienz der SIPLACE-Linie bei der Produktion erreicht wird.
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5.1 Magazin befüllen
Befüllen Sie die Magazine mit den Waferrahmen so, dass die Zentrierkerben nach vorne, zur
Einschuböffnung zeigen.
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HINWEIS
Bestimungsgemäße Verwendung durch qualifiziertes Personal
Bei nicht bestimmungsgemäßer Verwendung können Gefahren für Leib und Leben und
Sachbeschädigungen auftreten.
Nur entsprechend qualifiziertes Personal darf die Maschine in Betrieb nehmen, be-
dienen oder sonstige Arbeiten am SIPLACE Wafer System durchführen. Weitere In-
formationen finden Sie dazu in Abschnitt 1.1.5
, Seite 14.
Die Qualifikation muss durch Schulungen oder Unterweisungen des Personals
nachgewiesen werden.Die Unterweisung hat durch von SIPLACE ausgebildetes
und autorisiertes Personal zu erfolgen. Eine Übersicht über Trainingskurse finden
Sie Abschnitt 1.3
, Seite 29.
HINWEIS
Achten Sie bei Verwendung von Frame-Adaptern für 4, 5 oder 7 Zoll Wafer darauf,
dass nur jeder zweite Slot verwendet werden darf.