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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS Ausgabe 02/2018 5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten 95 5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten  Wechseln Sie in der SWS GUI in d…

5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)

5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen Ausgabe 02/2018

5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen

 Fahren Sie den Magazin-Lift in die Magazin-Wechsel-Position, damit der Magazin-Lift auf

Höhe der Wechselposition ist.

 Öffnen Sie die SWS Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grund-

platte des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie da-

rauf, dass das Magazin richtig einrastet.

Abb. 5.2 - 1 Magazin einsetzen

5.2.1 Magazin-Lift aufschwenken und schließen

Für Servicearbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es notwendig,

den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen. Sehen Sie dazu die Ser-

viceanleitung SWS.

HINWEIS

Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in

Zuführrichtung liegen.

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS

Ausgabe 02/2018 5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Wafer Handling

Systeme und klicken Sie auf den Button Wechselposition anfahren.

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Die Handling Sys-

teme und wählen Sie die Registerkarte Ausstecheinheit.

 Klicken Sie auf den Button .

Das Ausstechsystem (Die Ejector) wird aufwärts gefahren, so dass es zugänglich ist.

 Öffnen Sie die seitliche Schiebehaube der SIPLACE CA4 V2.

VORSICHT

Beschädigungsgefahr!

Bei Verschiebung des Wafertisches von Hand kann das nach oben gefahrene

Ausstechsystem mit dem Wafertisch kollidieren und beschädigt werden.

 Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand.

VORSICHT

Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln

Es besteht Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln am Ausstechsystem.

5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)

5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten Ausgabe 02/2018

Abb. 5.3 - 1 Ausstechsystem für Die-Ejector, magnetisch

 Ziehen Sie das Ausstechsystem (1) heraus.

 Ziehen Sie die schwarze Abdeckkappe (2) ab, die Nadeln befinden sich im Führungskopf (3).

Die Nadeln können in 4 Sektoren geklemmt werden. Eine Nadel kann sich in der Mitte befin-

den. 5

 Madenschrauben (4) klemmen die Nadeln an den 4 Segmenten.

Die mittlere Nadel wird mit der unteren Madenschraube (5) geklemmt. 5

 Montieren Sie je nach Applikation die entsprechenden Nadeln in die Öffnungen der 4 Seg-

mente.