00198370-01_UM_SWS-DE - 第96页
5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5.3 Nadelkonfiguration am Ausste chsystem einrichten Ausgabe 02/2018 96 5 Abb. 5.3 - 1 Ausstechsystem für Die-Ejector , magnetisch Ziehen Sie das Ausstechs…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS
Ausgabe 02/2018 5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten
95
5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Wafer Handling
Systeme und klicken Sie auf den Button Wechselposition anfahren.
Der Wafer-Tisch wird weggefahren.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Die Handling Sys-
teme und wählen Sie die Registerkarte Ausstecheinheit.
Klicken Sie auf den Button .
Das Ausstechsystem (Die Ejector) wird aufwärts gefahren, so dass es zugänglich ist.
5
Öffnen Sie die seitliche Schiebehaube der SIPLACE CA4 V2.
5
VORSICHT
Beschädigungsgefahr!
Bei Verschiebung des Wafertisches von Hand kann das nach oben gefahrene
Ausstechsystem mit dem Wafertisch kollidieren und beschädigt werden.
Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand.
VORSICHT
Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln
Es besteht Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln am Ausstechsystem.
5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten Ausgabe 02/2018
96
5
Abb. 5.3 - 1 Ausstechsystem für Die-Ejector, magnetisch
Ziehen Sie das Ausstechsystem (1) heraus.
Ziehen Sie die schwarze Abdeckkappe (2) ab, die Nadeln befinden sich im Führungskopf (3).
Die Nadeln können in 4 Sektoren geklemmt werden. Eine Nadel kann sich in der Mitte befin-
den. 5
Madenschrauben (4) klemmen die Nadeln an den 4 Segmenten.
Die mittlere Nadel wird mit der unteren Madenschraube (5) geklemmt. 5
Montieren Sie je nach Applikation die entsprechenden Nadeln in die Öffnungen der 4 Seg-
mente.
1
3
2
4
5
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS
Ausgabe 02/2018 5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten
97
5
Abb. 5.3 - 2 Schematische Darstellung der Nadelposition (Beispiel)
– Ausstechsystem 5 Nadeln mit 3,5 mm Abstand (00385535-02)
– Ausstechsystem 5 Nadeln mit 2 mm Abstand (00386908-02)
Führen Sie die nachfolgenden Einstellungen mit dem jeweiligen Kalibriernormal durch.
5.3.1 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal 03098221-xx
Für Die Ejector, magnetisch; Artikelnummer 03098221-xx
Für Die Ejector mit Bajonettverschluss (alt); Artikelnummer 03080191-xx
Hilfsmittel
– Nadeln als Verschleißteil
– Kalibriernormal für Die-Ejector, magnetisch (03098221-xx)
Mit Hilfe des Kalibriernormal für Die-Ejector werden alle Nadeln in eine definierte Höhe
und gemeinsame Ebene eingestellt. 5
5
Abb. 5.3 - 3 Kalibriernormal für Die-Ejector, magnetisch- Artikelnummer 03098221-xx
3,5 mm oder 2 mm