NPM_Parts List V2_3_N7203A329B03 - 第536页

101- A 精度検 証用ジグキ ット:NPM Accuracy V erification Jig Kit:NP M パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 1008 172 5AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O429 ( KN610081725AA-03-1 )

100%1 / 648
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
100
面補正ジグ:NPM
XY Plane Calibration Jig:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610064253AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
GLASS
1
1 N210079803AA
CASE
1
2 N510036040AA 460X460
O428
--
( KN610064253AA-01 )
101-A
精度検
証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610081725AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O429
( KN610081725AA-03-1 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
101-A
精度検
証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610081725AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
NOZZLE(No.153S)
2
1 N610069427AA
NOZZLE(No.184)
2
2 N610056813AA
1003 Nozzle
2
3 KXFX037UA00
CASE
1
4 N210113447AA
1001 Nozzle
2
5 KXFX037SA00
CASE
1
6 N210121869AA
NOZZLE SET
1
7 N610102528AA
NOZZLE SET(No.1001)
1
8 N610102529AA
O430
--
( KN610081725AA-03-1 )