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VM-101 2018.0520 - 109 - ■ 托盘供料器的外形尺寸 ( 单体 ) ( 单位 : mm) ※ 1 托盘供料器高度 896 mm ，是 VM101 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值 。 可调整范围是 : 896 mm 。 ※ 2 330 × 250 mm 尺寸的基板中心 382 ( 从基板中心 ※ 2 ) 基板中心 ※ 2 +65 -16.5 896 ※ 1 1 052 985 105 873 828 48…
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
前 侧
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
电源
819.5
8
14
5
24
6
7 22
3
860.5
1 680
660
77
77
基板传送基准
260 740 490
190
139.5 600.5
1 263
599 1 081
182
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■ 托盘供料器的外形尺寸(单体)
(
单位
: mm)
※1 托盘供料器高度 896 mm，是 VM101 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值。
可调整范围是: 896 mm。
※2 330 × 250 mm 尺寸的基板中心
382
(
从基板中心
※
2
)
基板中心
※
2
+65
-16.5
896
※
1
1 052
985
105
873
828
480
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【前侧】卷盘支架
【后侧】安装卷盘支架时，所必须的最小限空间。
在维护作业时有时会卸下托盘供料器，所以设置机器时请必须确保以下的空间。
(
单位
: mm)
Remarks
卷盘支架设置范围的地面倾斜，需要卷盘支架的左右方向在
10 mm
以内。
地面倾斜度超过此范围时，则不能进行卷盘支架的连接。
前 侧
卷盘支架
卷盘支架
3 194
1 571.5
668
1 622.5
568
954.5 1 003.5
471
44
8