CX-1_使用说明书 - 第288页
第1部 基本篇 第3章 维护 3-2-2 配管及接头 请确认无空气泄漏。 右侧面后部 销阀 检查空气泄漏 图 3-2 -3 空气阀 3-2-3 各单元气缸 接通主体的电源后，请选择“手动控制”项，进行动作确认。 3-4
第1部 基本篇 第3章 维护
更换选装的过滤器元件步骤
1. 拆下螺丝 ①、② (共 4 个)。
2. 拆下螺丝 ③ (4 个)。
3. 更换新的过滤器元件、O 形环、垫圈。
4. 按照拆下操作的相反顺序安装。
螺丝②
螺丝①
螺丝③
O 形圈
垫圈
过滤器元件
(PF901007000)
3-3
第1部 基本篇 第3章 维护
3-2-2 配管及接头
请确认无空气泄漏。
右侧面后部
销阀
检查空气泄漏
图 3-2-3 空气阀
3-2-3 各单元气缸
接通主体的电源后，请选择“手动控制”项，进行动作确认。
3-4
第1部 基本篇 第3章 维护
◇ 请参考以下的配管图。
(1) 配管系统图(主体)
Cell block
A
B
P
R
A
B
A
B
ATC
φ
12
工程配管
雾分离
调整器 滤光镜
压力开关
压力表
复式接头
φ
6
φ
6
φ
6
φ
6
φ
8
φ
8
φ
6
φ
6
贴片头组件
驱动气缸20L F
带电磁阀的复式接头
连接器台 R
统一交换台 F
统一交换台 R
(
可选)
(排出器)
驱动气缸 20L R
驱动气缸 20R R
驱动气缸20R F
连接器台 F
φ6 ST=30
CVS
(可选)
传送螺线管
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
AE/E阀
AE/E阀
(仪表接入)
挡块
φ4
φ4
φ4
(可选)
夹杆Y (x5)
(可选)
夹杆X (x5)
3-5