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第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要 ◆打开安全盖时要把盖子向上开足直到上了锁,确认上锁之后再放开手。 (把盖子开到最大限度就会进入上锁状态。) *没有上好锁就放开手时,盖子有落下来的危险。 ◆ 关盖子时先解开锁,再关闭盖子。 把盖子向上提,在全开状态下,把手把向上移动解开锁。 (请注意,解开锁时不要被落下来的盖子碰伤。) *不要把盖子、杆等压得太重。 <开关安全盖时的注意事项> 解锁 上锁 关闭:杆子上提,解锁。 打开:确认杆子插…

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1 部 基本编 1 章 设备概要
1-2 本设备的构成
1-2-1 本设备的构成
11
1
-2-1-1 正面图
液晶监视器
微型信号灯 ⑨ 鼠标
操作面板
气动调压阀 ⑩ FDD/ DVD 驱动器(选购项)
电源开关
压力表 真空泵(后侧)
信号灯
键盘 漏電断路器(后侧)
1-2-
1-2
① ATC 单元 ④ X-Y 单元 ⑦ 供料器台架单元
② LNC60 贴片头单元 ⑤ 基板传送单元 ⑧ HMS 单元
③ OCC 单元 ⑥ CAL 块单元 ⑨ CVS 单元(选购项)
1-5
1 部 基本编 1 章 设备概要
◆打开安全盖时要把盖子向上开足直到上了锁,确认上锁之后再放开手。
(把盖子开到最大限度就会进入上锁状态。)
*没有上好锁就放开手时,盖子有落下来的危险。
关盖子时先解开锁,再关闭盖子。
把盖子向上提,在全开状态下,把手把向上移动解开锁。
(请注意,解开锁时不要被落下来的盖子碰伤。)
*不要把盖子、杆等压得太重。
<开关安全盖时的注意事项>
解锁
上锁
关闭:杆子上提,解锁。
打开:确认杆子插到头。
1-6
1 部 基本编 1 章 设备概要
1-2-1-1 基板传送部的构成
L规格
搬入传感器 C・OUT(OUT)传感器 挡块从动导轨侧
搬出传感器 支撑台原点传感器 定心销
等待传感器 传送电磁阀 支撑台
停止(IN)传感器 传送马达 支撑销
C・OUT(IN)传感器 传送马达(JOINT) 自动调整宽度马达
JOINT 传感器 驱动杆 Y夹杆
停止(IN)传感器 挡块基准轨道侧
①②
气压
设备
XL 规格
1-7