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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-24 1) 请把各种传送传感器上面附着的灰尘和垃圾清除干净。 如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。 清扫部位 ・ 3-3-3 各种传送传感器 实施频度 ：每月 清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ： IPA IN , OUT 传感器 WAIT , STOP , C・OU T , JOINT 传感器
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-23
用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB 支撑座 L/R_S 内侧部分的橡胶座(黑色)上的灰
尘、异物。 （X 轴 4 个位置都要清扫）
清扫部位
・
3-3-2 X轴 CB支撑L/R_S
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容 清扫灰尘、异物 使用工具 ：抹布
CB 支撑座 L/R_S 部分
X 轴电缆套
橡胶座
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-24
1) 请把各种传送传感器上面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
・
3-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
IN
,
OUT
传感器
WAIT
,
STOP
,
C・OUT
,
JOINT
传感器
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-25
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
・
3-3-4 CAL块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
②
①