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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-33 清扫部位 ・ 3-3-13 风扇马达过滤器 实施频度 ： 每 6 个月 清扫内容 清扫风扇马达过滤器脏污 １) 请检查装置右侧面外壳上安装的风扇马达盖 子（过滤器）的脏污。 ２) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和 尘埃） ， 请将盖子拆下， 去除过滤器的脏污。 （拉动盖子即可拆下。） ３) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有 损坏时，请用以下货号的过滤器进行更换。 风扇马达过滤器…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-32
1) 接头的 A 面上若有灰尘、垃圾附着时，请用布沾上酒精擦干净。
A 面上有灰尘时，可能影响元件检查正常进行。
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时，请用气枪去除。
清扫部位
・
3-3-11 CVS（元件验证系统）（选购项）
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CVS 的灰尘、异物 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
清扫部位
・
3-3-12 OCC（偏光滤光片）
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪
偏光フィルタ
接头
接头
A面
偏光滤光片
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-33
清扫部位
・
3-3-13 风扇马达过滤器
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容 清扫风扇马达过滤器脏污
１) 请检查装置右侧面外壳上安装的风扇马达盖
子（过滤器）的脏污。
２) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和
尘埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。
（拉动盖子即可拆下。）
３) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有
损坏时，请用以下货号的过滤器进行更换。
风扇马达过滤器(5 个一套)
货号 HM001010020
４) 请检查装置内部上面中央部位外壳上安装的
风扇马达盖（过滤器）的脏污。另外，由于
此部位还有防止从装置上部混入异物的作
用，也请检查有无异物。
５) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和
尘埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。
（拉动盖子即可拆下。）
６) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有
损坏时，请用以下货号的过滤器进行更换。
风扇马达过滤器(5 个一套)
货号 HM001010020
７) 请检查装置内部上面安全盖旁边安装的风扇
马达盖（过滤器）的脏污。另外，由于此部
位还有防止从装置上部混入异物的作用，也
请检查有无异物。
８) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和
尘埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。
要卸下时，把风扇马达固定在盖子上的 4 个
螺丝即可拆下。）
９) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有
损坏时，请用以下货号的过滤器进行更换。
风扇马达过滤器(5 个一套)
货号 HM001010020
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-34
3-4 注油
1) 用黄油枪，从 XY 轴直动单元的黄油注油孔注入黄油。
注油项目
・
3-4-1 XY轴直动单元
实施频度 ：每年
使用工具 ：黄油枪 使用润滑油 ：
6459 润滑油 N
注油处 XY 轴直动单元（黄油注油孔）
ＸＹ轴的驱动用带及马达部的轴承，请绝对不要注油（机械油、
黄油）。
注
意
为防止突然起动造成事故，请切断电源后进行维护作业。
危
险
① Ｘ轴直动单元轨道 上下 2 处
② Ｘ轴直动单元 上下左右 4 处
黄油注入处
（黄油注入孔）
③ Ｙ轴直动单元轨道 左右４处
④ Ｙ轴直动单元 前后左右８处