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第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制 8-23 8-4-1-2 控制对象：自动调整基板宽度 点击“自动调整基板宽度”按钮后，画面显示内容和处理内容如下。 图 8-4-1-2-1 自动调整基板宽度 (1) 状态 显示各传感器、基板传送宽度的状态。 (2) 站点选择 通过单选按钮选择要控制的站点。 (3) 控制项目 点击“执行(E)”按钮，或按下“F3”键后，开始执行控制处理。 1)返回原点 自动调整基板宽度恢复原点。 2)变更幅度…
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
8-22
8-4-1-1 控制对象：基板传送
点击“基板传送”按钮后的画面显示内容和处理内容如下。
图 8-4-1-1-1 基板传送
(1) 状态
显示传送马达/传感器的 ON、OFF 状态。
(2) 控制项目
点击“执行(E)”按钮，或按下“F3”键后，开始执行控制处理。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
选择站点后，按定位方式搬入基板。
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
用在定位方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
6) HMS 夹紧
如果是长尺寸基板对应机型，要使用「HMS 夹紧」进行基板 2 次传送。
(3) 站点选择
通过单选按钮选择要控制的站点。
(4) 定位方式
通过单选按钮选择定位方式。
控制项目中的“初始化”、“基板搬出”、“基板固定解除”被选中时，将无法设置此项。
(5) 执行
开始控制。
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
8-23
8-4-1-2 控制对象：自动调整基板宽度
点击“自动调整基板宽度”按钮后，画面显示内容和处理内容如下。
图 8-4-1-2-1 自动调整基板宽度
(1) 状态
显示各传感器、基板传送宽度的状态。
(2) 站点选择
通过单选按钮选择要控制的站点。
(3) 控制项目
点击“执行(E)”按钮，或按下“F3”键后，开始执行控制处理。
1)返回原点
自动调整基板宽度恢复原点。
2)变更幅度
变更传送宽度。
3)传感器调谐
调整传送传感器。
(4) 执行
开始控制。
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
8-24
8-4-1-3 控制对象：马达
点击“马达”按钮后，画面显示内容和处理内容如下。
图 8-4-1-3-1 马达
(1) 马达选择
选择各种马达。
(2) 旋转方向
旋转方向为马达的旋转方向。
(3) ON/OFF 按钮
开始执行。