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第2部 功能详细编 第11章 机器自动诊断功能 11-3 11-3 个别诊断 11-3-1 共通标记弄脏检查 从下拉菜单的 [单独诊断]选择[共通标记 弄脏检查]或用命令按钮 选择[共通标记弄脏检查] 后，会打开通用标记弄脏检查画面。 指定供料器台架，按下“执行检查”，执行共通标记弄脏检查。 检查结果分别显示于[识别结果]。 图11-3-1-1 共通标记弄脏检查画面 (1)诊断结果 每个供料器台架的[识别结果]显示如下。 OK ・・・ …
第2部 功能详细编 第11章 机器自动诊断功能
11-2
11-2 基板的故障诊断
在设备构成概略图（图 11-1-1）上显示上次各基板的诊断结果。
・ 正常的基板以绿色显示，有问题的基板以红色显示，未诊断的基板以灰色显示。
・ 诊断对象基板带有放大镜标记，诊断中[诊断状况]栏内输出对应基板的诊断状况。
用[诊断设定]按钮选择诊断对象基板，按[执行]按钮开始诊断。
11-2-1 诊断设定
按下[诊断设定]按钮，会显示进行诊断基板的选择画面。
图11-2-1-1 诊断设定画面
第2部 功能详细编 第11章 机器自动诊断功能
11-3
11-3 个别诊断
11-3-1 共通标记弄脏检查
从下拉菜单的[单独诊断]选择[共通标记弄脏检查]或用命令按钮选择[共通标记弄脏检查]
后，会打开通用标记弄脏检查画面。
指定供料器台架，按下“执行检查”，执行共通标记弄脏检查。
检查结果分别显示于[识别结果]。
图11-3-1-1 共通标记弄脏检查画面
(1)诊断结果
每个供料器台架的[识别结果]显示如下。
OK
・・・
共通标记识别成功。
识别错误
・・・
在共通标记识别时发生了错误。
弄脏错误
・・・
共通标记有弄脏现象。
第2部 功能详细编 第11章 机器自动诊断功能
11-4
(2)出错时的处理方法
发生了共通标记识别错误时，将输出以下信息。
图11-3-1-2 共通标记识别检测错误信息
对检测到共通标记识别错误的站点，请检查一下其共通标记上是否有障碍物，共通标记是
否被污染。