04_SM471_Service Manual Head(Chi)(1) - 第13页

Head 9 10. 利用扳手固定住轴杆的 扳手位置后，利用 另一个扳 手拧开 Lock Nut 后拆下 。 11. 按照下列方向拆下轴杆 。 扳手位置 Lock Nut Splin e

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8. 拧开Z Sensor Dog的固定螺丝后拆下。
9. 拧开Z Cap的固定螺丝后拆下。
固定螺丝
Z Sensor Dog
固定螺丝
Head
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10. 利用扳手固定住轴杆的扳手位置后，利用另一个扳手拧开Lock Nut后拆下。
11. 按照下列方向拆下轴杆。
扳手位置
Lock Nut
Spline
SM471 Service Manual
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12. 拧开Z Rod Housing的固定螺丝后拆下。
13. 更换新轴杆(Spline)。
参考
轴杆(Spline)的 Part No.是 MC13-000124。
14. 按照拆卸过程的相反顺序进行组装。
15. 组装后，利用示教框慢慢地旋转并且通过Fly Camera检查Nozzle Holder偏心旋转的程度
。微调Spline位置，直到Nozzle Holder不进行偏心旋转为止。
16. 实行下列校准(Calibration)作业。
Axis Home Calibration
Head Z/R Offset
Fid Camera Offset
Pitch Home Offset
Head Offset
LSO Head COR to RefFid
Variable Pitch Offset
Z Rod Housing
固定螺
丝