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5-12 5 로컬 피듀셜의 설정 1 2 3 4 5 6 8 514 - N3 - 0 0 1. N o . 로컬 피듀셜 번 호 를 표시 합니 다 . 2. 스킵 지정 번 호의 로컬 피 듀셜 기능을 실 행 할지 스킵 할 지 를 지정 합 니 다 . 실행 할 경 우는 체 크 박 스를 해제 합 니 다 . 3. X( mm ) , Y (mm ) 지정 번 호의 로컬 피 듀셜 마크의 위치 를 설정 합니다 . 좌표의…
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보정값 취득
[보정값 취득] 버튼
68513-N3-00
「기판 틀어짐보정」탭 화면의 우측에 있는 [ 보정값 취득 ] 버튼을 누르면「보정값 취득」대화창이 표시됩니다 .
이 대화창의 「미실행시 설정값」에는 보정값을 취득하기 전의 설정치가 표시됩니다 .
[ 실행 ] 버튼을 누르면 인쇄검사를 실행하고 인쇄위치의 전체 어긋남을 검출하여 자동적으로 틀어짐보정 X, Y, R 를 취득
합니다 .
「실행결과」에는 , 이번 인쇄검사 「실행 전」의 보정값과 「실행 후」의 새로운 취득 보정값이 표시됩니다 . 실행 전과 실행
후의 보정값을 비교하고 수치의 변화가 없어질 때까지 인쇄검사를 반복 실행합니다 . 보정값을 수속하기 위해서는 여러 번
(3~5 번 ) 인쇄검사를 실행할 필요가 있습니다 .
취득한 보정값을 유효하게 하기 위해서는 [OK] 버튼을 누릅니다 . 파기하고자 할 때는 [ 취소 ] 버튼을 누릅니다 .
n
요점
틀어짐 보정값을 취득하기 위한 인쇄검사가 실행되므로 , 미리 인쇄검사 데이터를 작성할 필요가 있습니다 . 기판 전체의 올바
른 인쇄 위치를 검출하기 위해서는 가능한한 많은 인쇄검사 대상을 등록할 필요가 있습니다. ( 인쇄검사의 자세한 내용에 대
해서는 별책「옵션 메뉴얼」의「인쇄 검사 기능」을 참조해 주십시오 .)
● 로컬 피듀셜
동일 로트내에 늘어남 또는 틀어짐의 불규칙한 분포가 있는 기판에 인쇄할 경우 , 중점적으로 양호한 인쇄 정밀도를 확보하
고자 하는 위치 부근의 마크를 인식함으로서 , 중점부분의 인쇄 정밀도를 안정시킬 수가 있습니다 .
참고
로컬 피듀셜을 사용한 위치보정은 인쇄위치의 계산이나 , 인쇄검사 옵션이 갖춰진 장비로 인쇄검사를 실행할 때의 인쇄검사 위
치 계산에도 사용됩니다 .
기판 피듀셜과 로컬 피듀셜
1. 기판피듀셜 인식을 실행하고
기판고정시, 틀어진 양의
보정량을 계산합니다.
2. 기판피듀셜 인식결과에 따른
기판고정의 틀어진 양을
보정하고, 사전에 등록된
로컬피듀셜 위치에서 마크를
인식합니다.
3. 기판에 늘어남도 틀어짐도 없을
경우는 로컬피듀셜의 인식
어긋남은 발생하지 않으나, 만일
늘어남 또는 틀어짐이 있을 경우,
로컬피듀셜의 인식 어긋남（XY
방향만）을 그대로 기판피듀셜
보정량에 더합니다.
기판
기판 피듀셜 로컬 피듀셜
67505-N3-00
참고
기판상에 중점적으로 양호한 인쇄 정밀도를 확보하고자 하는 위치가 여러 개 있을 경우, 각각에 로컬 피듀셜을 사용하면 ,
각 로컬 피듀셜의 마크인식 틀어짐의 평균이 보정량으로서 사용됩니다.
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로컬 피듀셜의 설정
1 2 3 4 5
68514-N3 -00
1. No.
로컬 피듀셜 번호를 표시합니다 .
2. 스킵
지정번호의 로컬 피듀셜 기능을 실행할지 스킵할지를 지정합니다 . 실행할 경우는 체크박스를 해제합니다 .
3. X(mm), Y(mm)
지정번호의 로컬 피듀셜 마크의 위치를 설정합니다 . 좌표의 기준위치는 기판 피듀셜 마크와 동일합니다 .
4. 마크 No.
지정번호의 로컬 피듀셜 마크인식에 사용할 마크번호를 지정합니다 .
5. 명칭
마크 No. 에 지정한 마크데이터의 명칭이 표시됩니다 .
c
주의
로컬 피듀셜을 사용하기 위해서는 반드시 , 기판 피듀셜을 사용할 필요가 있습니다 . 기판 피듀셜을「미사용」으로 설정하면 로컬
피듀셜은 사용할 수 없습니다 .
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4. 마스크 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「마스크」탭 화면에서 다음과 같이 설정항목의 확인과 편집을 합니다 .
4.1 마스크 마크와 파라미터의 설정
[인쇄] ー「마스크」탭 화면
1 4 5 62 3
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[편집] 버튼 [레인전환] 버튼
68515-N3-0 0
1. 마스크 피듀셜
위치 맞춤용 피듀셜 마크를 사용할 때는「매회 인식」이나「첫 회만 인식」으로 , 사용하지 않을 때는「미사용」으로 설정
합니다 . 「매회 인식」을 선택하면 기판이 반입될 때마다 마크인식을 합니다 .「첫 회만 인식」을 선택하면 처음에 반입된
기판에서만 마크인식을 합니다 . 우측의 [ 편집 ] 버튼을 누르면 아래의 설정 대화창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 .
마스크 피듀셜 설정 대화창
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2. 피듀셜 타입
「마스크 피듀셜」을 「매회 인식」이나 「첫 회만 인식」으로 설정하면 이「피듀셜 타입」（사용할 마크 수） 「1 포인트」~「4
포인트」중에서 선택해 주십시오 . 각 마크의 형상은 달라도 됩니다 . 우측의 [ 편집 ] 버튼을 누르면 , 상기와 같은 설정대화
창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 .
마스크 피듀셜 타입
마스크 원점
마스크 기준위치
마크1
(-X, Y)
마크2
(X, Y)
+X
+Y
2포인트의 예
67506-N3-0 0