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5-14 5 3. 피듀셜 위치 피 듀셜 마크의 위치 를 기 판과 마스 크 를 공통 으로 할지 개별 적 으로 설정 할 지 를 지정 할 수 있습니 다 . [ 편 집 ] 버 튼을 누 르 면 전 페 이 지와 같은 설정 대화창 이 표시되 므로 , 선택 해 주십시 오 . 「기 판 & 마스크 개 별지 정 」으로 한 경우는 피 듀셜 마크 위 치 , 피 듀셜 타입 및 기준위 치가 기판 과 마스크 개별…
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4. 마스크 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「마스크」탭 화면에서 다음과 같이 설정항목의 확인과 편집을 합니다 .
4.1 마스크 마크와 파라미터의 설정
[인쇄] ー「마스크」탭 화면
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[편집] 버튼 [레인전환] 버튼
68515-N3-0 0
1. 마스크 피듀셜
위치 맞춤용 피듀셜 마크를 사용할 때는「매회 인식」이나「첫 회만 인식」으로 , 사용하지 않을 때는「미사용」으로 설정
합니다 . 「매회 인식」을 선택하면 기판이 반입될 때마다 마크인식을 합니다 .「첫 회만 인식」을 선택하면 처음에 반입된
기판에서만 마크인식을 합니다 . 우측의 [ 편집 ] 버튼을 누르면 아래의 설정 대화창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 .
마스크 피듀셜 설정 대화창
68516-N3-0 0
2. 피듀셜 타입
「마스크 피듀셜」을 「매회 인식」이나 「첫 회만 인식」으로 설정하면 이「피듀셜 타입」（사용할 마크 수） 「1 포인트」~「4
포인트」중에서 선택해 주십시오 . 각 마크의 형상은 달라도 됩니다 . 우측의 [ 편집 ] 버튼을 누르면 , 상기와 같은 설정대화
창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 .
마스크 피듀셜 타입
마스크 원점
마스크 기준위치
마크1
(-X, Y)
마크2
(X, Y)
+X
+Y
2포인트의 예
67506-N3-0 0
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3. 피듀셜 위치
피듀셜 마크의 위치를 기판과 마스크를 공통으로 할지 개별적으로 설정할지를 지정할 수 있습니다 . [ 편집 ] 버튼을 누르면
전 페이지와 같은 설정 대화창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 . 「기판 & 마스크 개별지정」으로 한 경우는 피듀셜 마크위
치 , 피듀셜 타입 및 기준위치가 기판과 마스크 개별적으로 지정할 수 있습니다 .
「기판 & 마스크 공통지정」으로 한 경우는 피듀셜 마크위치 , 피듀셜 타입 및 기준위치가 기판과 마스크 공통지정이 됩니다 .
이 설정으로 변경하면 확인 메시지가 표시됩니다 .
[OK] 버튼을 누르면 마스크 피듀셜에서 기판 피듀셜로 피듀셜 마크위치 , 피듀셜타입 , 기준위치의 파라미터가 복사됩니다 .
n
요점
피듀셜 위치 , 피듀셜 타입 및 기준위치를 기판 혹은 마스크중에서 어느 한쪽을 편집하거나, 티칭에서 변경한 경우는 그 변경
내용이 다른 한쪽에도 자동적으로 반영됩니다.
4. X, Y （mm）
마스크 피듀셜 마크의 마스크 원점에서의 X Y 좌표（ｍｍ）를 입력합니다 . [ 티칭 ] 버튼으로 티칭 입력할 수도 있습니다 .
참고
티칭의 자세한 내용에 대해서는 제 7 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .
5. 마크 No.
피듀셜에 사용하는 마크번호 （미리 마크화면에서 등록） 를 입력합니다 .
6. 명칭
「마크 No.」를 입력하면 그 마크의 명칭（미리 마크화면에서 등록）이 자동적으로 표시됩니다 .
7. 마스크 파라미터
마스크 파라미터
68517-N3- 0 0
A. 마스크 명칭
마스크의 명칭을 입력합니다 .
B. 마스크 사이즈
마스크 프레임의 사이즈（L × W）를 설정합니다 .
C. 제판기준
마스크를 제판했을 때의 기준위치를 지정합니다 .
본 장비의 경우는 「중앙」 또는「앞쪽」제판기준에서 선택합니다 .
제판기준
제판기준 위치
제판기준:중앙 앞쪽
기판 마스크 프레임
67507-N3-00
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D, E. 제판 기준옵셋 X, Y
마스크의 제판기준이 , 마스크「중앙」「앞쪽」의 기준위치에서 크게 벗어나서 마크인식이 안될 경우 , 그 옵셋량을 설정합
니다 .
제판기준 옵셋 X, Y(제판기준「중앙」의 예)
마스크 중앙
X-
X+
-Y
+Y
제판기준
67508-N3-00
F. 마스크 기준위치
설정한 제판기준
•
제판기준 옵셋의 위치를 기준으로서 , 마스크상의 설정좌표를 기판의 어느 위치에서의 좌표로 설정할지
선택합니다 . 아래의 그림처럼「기판중앙」「기판 앞쪽중앙」「기판 안쪽중앙」「기판 앞쪽좌측」「기판 앞쪽우측」「기판 안
쪽좌측」「기판 안쪽우측」중에서 선택해 주십시오 . 초기값은 「기판 앞쪽좌측」입니다 .
참고
마스크상의 설정좌표에는「마스크 원점 XY」「마스크 피듀셜」「마스크 검사좌표」가 있습니다.
마스크 기준위치
마스크 기준위치
기판
마스크 프레임
67509-N3-00
G, H. 마스크 원점 X, Y （mm）
마스크 피듀셜 좌표축의 원점이 마스크 기준위치와 다를 경우 마스크 기준위치에서의 옵셋량을 설정합니다 .
마스크 원점
마스크 원점
마스크 기준위치
마스크 기준위치를「기판 앞쪽좌측」
으로 설정한 경우
기판
마스크 프레임
+Y
-Y
X+
X-
67510 - N3- 00
I. 마스크 흡착
마스크의 이면 ( 뒷면 ) 을 컨베이어 레일면에 흡착시켜서 인쇄할 때는 「사용」으로 , 흡착시키지 않을 때는「미사용」으로
설정합니다 . 마스크 흡착에는 아래와 같은 효과가 있습니다 .
•
전진인쇄와 후진인쇄의 Y 방향의 틀어짐을 없앤다 .
•
기판과 마스크의 밀착성이 향상된다 .