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5-27 5 ● 기판 수량 관 리의 상세 설정 「 클리 닝 상세 설정 」 화면에서 는 , 기판장수 간격별 ( 「기판수 량 관리 1 」 탭 ~ 「기판수 량 관리 4」 탭의 최대 4 종류 ) 로 , 최 대 1 0 회분 (5 왕복 ) 의 클리 닝 동작을 실행 할 수 가 있 습니 다 . 클리 닝 실 행간격 을 「 상세 자동간격」 에 입 력 하 고 , 각 동작의 「클 리 닝 타입」, 「 스피드 」, …
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6. 클리너 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「클리너」탭 화면에서 다음 설정항목의 확인과 편집을 합니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
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● 기판수량 관리
마스크 클리닝을 생산한 기판장수로 관리할 경우에 설정합니다 .
C. 건식자동간격 ( 장）
건식 자동클리닝을 할 때의 간격 ( 기판장수 ) 을 설정합니다 .
D. 건식자동반복 ( 회）
건식 자동클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
e. 건식자동 스피드 (mm/sec)
건식 자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
F. 습 식자 동 간격 ( 장）
습식 자동 클리닝을 할 때의 간격 ( 기판장수 ) 을 설정합니다 .
G. 습식자동반복 ( 회）
습식 자동클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
h. 습식자동 스피드 (mm/sec)
습식 자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
i. 수동간격 （장）
수동 클리닝을 할 때의 간격 ( 기판장수）을 설정합니다 . 「건식 자동간격」이나「습식 자동간격」의 장수 지정과 겹칠 경
우는 수동 클리닝이 우선됩니다 .
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● 기판수량 관리의 상세설정
「클리닝 상세설정」화면에서는 , 기판장수 간격별 (「기판수량 관리 1」탭 ~「기판수량 관리 4」탭의 최대 4 종류 ) 로 , 최대
10 회분 (5 왕복 ) 의 클리닝 동작을 실행할 수가 있습니다 . 클리닝 실행간격을「상세 자동간격」에 입력하고 , 각 동작의「클
리닝 타입」,「스피드」,「흡인」을 설정해 주십시오 .
또한 ,「클리닝 타입」을「없음」으로 설정하면 , 그 이후의 클리닝은 실행하지 않습니다 .
그리고 ,「상세 자동간격」을「0」으로 설정하면 , 그 이후의 기판수량 관리 탭의 설정을 전부 무효로 할 수가 있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
[상세설정] 버튼
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설정항목
항목 초기값 입력 범위 내용
상세 자동간격 ( 장 ) 0 0~9999
( 기판수량 관리의 경우에만 )
기판을 몇장마다 클리닝 할 것인지를 설정합니다 .「0」으로
설정하면 , 그 이후의 기판수량 관리 탭의 설정은 무효입니다 .
클리닝 타입 건식
건식
습식
없음
「건식」: 클리너 거즈만으로 클리닝을 실행합니다 .
「습식」: 클리너 거즈에 용제를 적신 상태에서 클리닝합니다 .
「없음」: 이 행 이후의 클리닝은 실행하지 않습니다 .
스피드 (%) 100 1~10 0
클리닝시 클리닝 유닛이 이동하는 속도를 설정합니다 .( 변경
한 값은 하기의「스피드 (mm/sec)」항목과 연동합니다 .)
스피드 (mm/sec) 255 1~255
클리닝시 클리닝 유닛이 이동하는 속도를 설정합니다 .( 변경
한 값은 상기의「스피드 (%)」항목과 연동합니다 .)
흡인 사용
사용
미사용
「사용」: 클리닝시 , 마스크를 흡인하면서 클리닝 유닛이 이동
합니다 .
「미사용」: 클리닝시 , 마스크를 흡인하지 않고 , 클리닝 유닛
이 이동합니다 .
c
주의
습식 클리닝시 ,「흡인」기능을「사용」으로 설정하면 , 토출한 용제가 건조해 버립니다 . 기판 선택시에 [Ea8816 데이터체크 경고 ]
메시지가 표시되므로 , 설정을 변경해 주십시오 .
[ 인쇄 ]-「클리너」탭의「건식 자동간격 ( 장 )」,「습식 자동간격 ( 장 )」,「수동간격 ( 장 )」란에 값을 입력하면 ,「상세설정」
의 클리닝과 병용할 수가 있습니다 . 단 , 각 자동간격 및 수동간격은 대소관계를 유지하도록 설정해 주십시오 .
( 건식 < 습식 < 기판수량 관리 1< 기판수량 관리 2< 기판수량 관리 3< 기판수량 관리 4< 수동간격 )
참고
클리닝 카운터의 값은 , [모니터]-「카운터」탭에서 확인할 수 있습니다.
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● 시간 관리
대기상태인 경우에도 일정한 시간간격으로 마스크 클리닝을 하고자 할 때 설정합니다 .
예를 들어「클리닝 방법」을「자동」,「간격」을「10（분）」으로 설정하면 , 마지막에 인쇄 또는 클리닝 한 시점에서 10 분
후에 자동적으로 클리닝을 실행합니다 .
A. 클리닝 방법
마스크의 클리닝 방법을「자동」「수동」「미실행」중에서 선택합니다 .「자동」을 선택하면 설정한 조건에 따라 자동적으
로 클리닝이 실행됩니다 .
B. 자동 클리닝 타입
「습식」또는「건식」에서 선택합니다 .
C. 간격 ( 분）
자동 클리닝을 할 때의 시간간격 ( 분 ) 을 설정합니다 .
D. 반복 ( 회）
자동 클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
e. 스피드 (mm/sec）
자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
참고
장비가 리세트 상태 또는 [STOP] 버튼에 의한 정지중에도 시간관리가 실행됩니다만, 운전의 재개상태에 따라 클리닝의 타이
밍이 다릅니다 .
● 시간관리의 상세설정
[ 인쇄 ]-「클리너」-[ 시간관리 ] 항목의「클리닝 방법」을「자동」으로 하고 ,「자동클리닝 타입」은「상세」로 , 클리닝을
실행하는 시간 간격을「간격 ( 분 )」에 입력합니다 .
그후 , [ 상세설정 ] 버튼을 눌러서 ,「클리닝 상세설정」화면의「시간관리」탭내의「클리닝 타입」,「스피드」,「흡인」을 설정
해 주십시오 . 또한 ,「시간관리」탭 화면에는「상세 자동간격」항목이 없으므로 , 설정은 1 종류만 등록할 수 있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
[상세설정] 버튼
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