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5-34 5 7 . 4 인식 파 라미 터 「인 식 」탭 을 선 택 하 면 아 래 의 인 식 파 라 미 터 를 설 정 할 수 있 습 니 다 . 인식 파라미터 [레인전환] 버튼 68 53 4 -N 3- 00 A : 표면 타입 마크표 면 과 기판 ( 마크 주 위 ) 과의 명암 관계 를 설 정 합니 다 . 아 래 표 를 참 고 하 여 주십시 오 . 비 반사체 기판보다 마크가 어두움 반사체 기판보다 …
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A,B. 마크외형 X,Y
마크의 외형치수를 입력합니다 . 아래의 표를 참조해서 , 자 등으로 계측한 정확한 수치를 입력해 주십시오 .
예 마크 외형 형상 타입
X
X
Y
Y
지름의 길이를 입력한다
각변의 길이를 입력한다
한 변의 길이를 입력한다
X의 길이를 「마크외형 X」로, Y의 길이
를 「마크외형 Y」에 입력한다
마크 검출 범위내에 표시된 두 변중에 짧은
변의 길이를 입력한다
원
사각형•장방형
정삼각형
특수형상
각 검출
마크 외형
67520 -N3 - 00
C: 마크면적
이 파라미터는 , 「형상타입」을 「특수형상」으로 설정했을 때만 표시됩니다 . 마크의 면적을 mm 단위로 입력하여 주십시오 .
D: 마크 주변길이
이 파라미터는 , 「형상타입」을 「특수형상」으로 설정했을 때만 표시됩니다 .
마크의 주변 길이를 mm 단위로 입력하여 주십시오 .
n
요점
조명의 상태 등 환경에 의해 , 인식시의 값이 실측치와 달라서 , 에러가 나올 경우가 있습니다 . 그럴 경우, 인식파라미터의
「마크 인식공차」를 크게 하거나,「마크 인식공차」를 일단 100% 로 설정하여 보조조정의 인식테스트를 실행해서 , 얻은 면적
과 주변길이 데이터를 입력합니다. 데이터를 얻은 후는 , 「마크 인식공차」를 원래의 값으로 되돌려 주십시오 .
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7.4 인식 파라미터
「인식」탭을 선택하면 아래의 인식 파라미터를 설정할 수 있습니다.
인식 파라미터
[레인전환] 버튼
68534-N3- 00
A: 표면타입
마크표면과 기판 ( 마크주위 ) 과의 명암관계를 설정합니다 . 아래 표를 참고하여 주십시오 .
비 반사체
기판보다 마크가 어두움
반사체
기판보다 마크가 밝음
설 정
밝음 비교
인식상태
기판
마크
기판
마크
표면 타입
67521-N3-00
B: 인식타입
인식타입에는 다음의 5 종류가 있습니다 .
ᆞ 일 반
패턴이외의 모든 형상타입에 대하여 이 인식타입을 사용합니다 .
단 , 이방법으로 인식할 수 없을 경우는 다른 인식방법을 시도하여 주십시오 .
ᆞ 특 수 1
「일반적」 으로는 인식할 수 없는 마크에 대하여 사용하여 주십시오 .
ᆞ 특 수 2
「일반」으로는 인식할 수 없는 마크로 , 잘린부분이 있는 마크에 대하여 사용하여 주십시오 .
ᆞ 패턴 윤곽 , 패턴 다치 , 패턴 전체
패턴으로 등록할 마크에만 사용합니다 .
상세한 내용은 제 7 장「2. 패턴매칭」을 참조하여 주십시오 .
C: 마크 경계값
마크를 인식할때의 2 치화 화면의 기준치입니다 . 후술의 보조조정으로 최적화합니다 .
D: 마크인식공차 (%)
설정된 마크 면적값과 실제로 인식되었을때의 면적치의 오차를 , 어느 정도까지 허용하는지를 % 로 설정합니다 .
권장치는 「30」입니다 .
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E, F: 마크 검출범위 X, 마크 검출범위 Y
마크외형 +3.00mm 를 기준으로 합니다. 예를 들면, 아래 그림과 같이 마크의 외형이 1mm 일 경우 4mm 를 입력합니다.
다만 , 마크이외의 패턴 ( 레지스트ᆞ실크 등 ) 도 검출되면 , 마크 검출범위 위치를 작게해서 , 마크만 검출되도록 설정하여
주십시오 .
마크 검출범위 예
마크 검출범위
마크
패턴
1mm
4mm
4mm
4mm
2.5mm
67522-N3-00
c
주의
마크 검출범위 Y 에 "0" 이 입력된 경우 마크 검출범위 X 의 정방형 내에서 마크인식이 실행됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를 인식할 때의 조명은 몇 개의 영역으로 나뉘어져 있습니다 .
각각의 영역의 조명레벨이 여기에 설정되어 있습니다 . 후술의 보조조정으로 최적화합니다 .
L, M: 마크 외 , 마크 내 노이즈 컷트 수
마크화상을 2 치화해서 인식했을 때 , 마크의 외측 또는 내측에 노이즈로서 나타나는 부분을 컷트하기 위한 값입니다 .
후술의 보조조정으로 최적치를 구해서 입력합니다 .