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5-36 5 7. 5 보 조 조정을 실 행한다 등록 한 마 크의 설 정 치 가 적 절 한 지 확 인 하는 작업 입 니 다 . 미 설 정 파 라 미 터 에 대 해 서 는 인 식 테 스트 를 하 면 서 최적치를 구 합 니다 . 1 마크데이터를 선택합니다 . 마크화면 의 상부 리 스트중 확인 하 고 자 하 는 데 이 터 행 에 커서 를 맞춥 니 다 . 2 [ 마크 조정 ] 버튼 을 눌러 서 마크 …
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E, F: 마크 검출범위 X, 마크 검출범위 Y
마크외형 +3.00mm 를 기준으로 합니다. 예를 들면, 아래 그림과 같이 마크의 외형이 1mm 일 경우 4mm 를 입력합니다.
다만 , 마크이외의 패턴 ( 레지스트ᆞ실크 등 ) 도 검출되면 , 마크 검출범위 위치를 작게해서 , 마크만 검출되도록 설정하여
주십시오 .
마크 검출범위 예
마크 검출범위
마크
패턴
1mm
4mm
4mm
4mm
2.5mm
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c
주의
마크 검출범위 Y 에 "0" 이 입력된 경우 마크 검출범위 X 의 정방형 내에서 마크인식이 실행됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를 인식할 때의 조명은 몇 개의 영역으로 나뉘어져 있습니다 .
각각의 영역의 조명레벨이 여기에 설정되어 있습니다 . 후술의 보조조정으로 최적화합니다 .
L, M: 마크 외 , 마크 내 노이즈 컷트 수
마크화상을 2 치화해서 인식했을 때 , 마크의 외측 또는 내측에 노이즈로서 나타나는 부분을 컷트하기 위한 값입니다 .
후술의 보조조정으로 최적치를 구해서 입력합니다 .
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7.5 보조조정을 실행한다
등록한 마크의 설정치가 적절한지 확인하는 작업입니다. 미설정 파라미터에 대해서는 인식테스트를 하면서
최적치를 구합니다 .
1
마크데이터를 선택합니다 .
마크화면의 상부 리스트중 확인하고자 하는 데이터 행에 커서를 맞춥니다 .
2
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
「마크조정」화면
「마스크 피듀셜」을 선택했을 경우, 표시된다
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기판을 컨베이어상에 반입해서 고정합니다 .
[ 기판반입 ] 버튼을 눌러서 화면의 메시지에 따라 실행해 주십시오 .
마스크 피듀셜의 경우는 마스크를 인쇄부에 클램프합니다 .
4
마크를 트레이스합니다 .
1. [ 트레이스 ] 버튼을 누릅니다 .
「트레이스」대화창이 표시됩니다 .
2. [OK] 버튼을 눌러서 선택되어 있는 마크위치에 대한 트레이스를 실행합니다 .
기판 피듀셜 마크의 경우는 기판이 기판용 카메라의 바로 밑으로 이동하고 , 마스크 피듀셜 마크의
경우는 마스크용 카메라가 마스크 마크의 바로 밑으로 이동합니다 .
「트레이스」대화창
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참고
트레이스나 티칭기능에 대한 자세한 내용은 제 7 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .
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트레이스 위치를 확인합니다 .
화면의 중앙커서와 마크가 아래의 표와 같은 관계로 되어있는지 확인해 주십시오 .
위치가 틀어져 있을 경우는 [ 인쇄 ]-「기판」탭（또는 [ 인쇄 ]-「마스크」탭을 열고）마크좌표를 다시
티칭해 주십시오 .
형상타입 티칭위치 예
원, 정방형, 정삼각형, 특수형상
각 검출
선단 검출
원단검출
마크의 중심
각부
선단의 변 중심
선단의 원 중심
：중앙커서
마크 트레이스 위치
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조명레벨을 조정합니다 .
[ 마크조명 ] 버튼을 누르고 화면에 표시된 마크가 선명하게 보이도록 최적한 조명레벨을 설정해 주십시
오 . 조정후에는 , [ 닫기 ] 버튼을 누릅니다 .
조명레벨의 조정
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참고
조명레벨은 기판이나 마스크 프레임의 재질이나 마크의 소재에 따라 조정할 필요가 있습니다 . 아래의 방법을 참고해서 최적한
조명을 찾으십시오 .
1. 일단 모든 조명을 OFF 로 합니다.
2. 「외륜」「내륜」「동축」「IR 내륜」「IR 외륜」의 조명을 하나씩 최대 레벨로 점등시켜서 그 효과를 봅니다 .
3. 효과가 있는 조명을 조합해서 , 각 레벨을 조정합니다 .
또한 일반적인 기판마크에는 다음의 조명이 효과적입니다.
•평평하고 경면처리된 마크 ：「동축」이 유효합니다.
•평평하고 산화동박을 사용한 마크 ：「IR 내륜」이 유효합니다.
•표면이 균일하지 않아서 난반사하는 마크 ：「IR 외륜」「IR 내륜」이 유효합니다.