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6-15 6 화면 우측 하단에 있는 버튼 의 기 능은 다음과 같습니 다 . [ 이력 저장 ] 버튼 열 려 있 는 탭의 이 력 데 이 터 를 저 장합니다 . [ 클 리어 ] 버튼 열 려 있 는 탭의 이 력 데 이 터 를 모 두 클리 어 합니 다 . [ 옵 션 ] 버튼 이 버 튼을 누 르 면 , 항목의 표시 / 비표시 를 선택 하 는 대화창 이 표시 됩 니 다 . 화면에 표시 시킬 항목 에 체 …

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3. 본다
자동 운전각종 발생등 이력 데이터
저장
표시습니 . 평상
동상황이력의 수집물론 트워동이수집 스템 등을 합니 .
[ ] 버튼누릅니 . 「로그「생「로트」탭표시용이 환됩 . 탭의
용에 합니 .
3.1 력:로
. 1작업1
. 1000 .
[이력]「로그」탭 화면
[이력] 버튼
68613-N3-00
항목용은 같습 .
생시각 에러나 작이벤트가 발생한 일시
트명 에러작업 이벤발생시택된 기판 이터
로트 ID 에러나 작이벤발생시택되있던 기판데이터의 코멘
에러 / 작번호
에러나 작이벤트의 나타니다 .
Es: 스템 관계 에러
Ea: 데이업에 관한 에러
내용 러나 작업의 타이틀을 표시합니다 .
상세 에러나 작업에 상세데이터가 있을 경우는 용을 표시합니다 .
업자 에러작업 이벤발생시로그인오퍼레이터표시합니 .
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화면 우측 하단에 있는 버튼능은 다음과 같습니 .
[ 이력저장 ] 버튼
탭의 장합니다 .
[ 리어 ] 버튼
탭의 클리합니 .
[ ] 버튼
튼을 , 항목의 표시 / 비표시선택대화창표시 . 화면에 표시시킬 항목합니 .
「표시/비표시」대화창
68614-N3- 0 0
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3.2 :생
과를 . 1판에 1.
1000 . 우측 단에 능은「로」탭 .
[이력] 「생산」탭 화면
레인 선택
68615 - N3- 00
항목용은 같습 .
트명 기판을 생산한 이터
로트 ID 기판을 생산한 기판데이터
생산형태
생산에서의 생산형태입니 .
미설정 : 설정되않다
한쪽 : 한쪽 인쇄생산되었
병행 : 병행 인쇄산되었
순차 : 순차 쇄로 생산되었
교호 : 교호 인쇄생산되
인쇄레인 생산 로그를 출력레인입니 .
반출설정
생산에서의 반출레인 설정입 .
프리 : 기판 데이터를 읽어들인 레인으로 출되었
레인 1: 레인 1 되었다
레인 2: 레인 2 로출되었다
하류측 : 하류측으로부터 구된 으로 출되
생산시작 시각 기판의 작한 시각
생산완시각 기판의 생산을 완료시각
예정수 기판의 생산시에 설정되있던 생산예정 수량
로트내 연번 로트 내에서 이 기판이 생산된 순서
완료 플
0: 기판생산이 완료되었
1: 도중에 리셋 등을 실행해서 기판생산이 완료되않았
2: 인쇄후에 리셋 등을 실행해서 기판의 생산료되지 않았
인쇄시간 ( ) 기판 인쇄에 걸린 시간
반송 CT( ) 기판 반송에 시간
상류대기 CT( 초 ) 기판의 중에 상류기대기되었
하류대 CT( ) 기판의 생산중에 하류기에 의해 기상태로 되었던 시간