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6-23 6 우측 하단 에 있 는 버 튼의 기능 은 아 래 와 같습니 다 . [ 이력 저장 ] 버튼 표시 된 이력 데 이 터 를 저 장합니 다 . [ 리세트 ] 버튼 표시 된 전체 이 력 데 이터 또는 선 택된 행만을 리세 트 합니 다 . [ 옵 션 ] 버튼 이 버 튼을 누 르 면 「 그리 드표시 설정 」대화창 이 표시됩 니다 . 각 체 크 박스 를 선 택 하고 표시할 항목을 지 정 할 수 …
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4. 장비 동작이력을 본다
[ 이력 2] 버튼을 누르면 「컨베이어」「스퀴지」「마스크」「클리너」탭으로 구분된 이력화면이 표시되고 각 기기의
사용상황을 확인할 수 있습니다 .
4.1 이력 2：컨베이어
「컨베이어」탭을 선택하면 메인스톱퍼, 출구스톱퍼 , 플랩, 엣지클램프 , 기판흡착 , 푸쉬업 등 각 컨베이어
유니트의 동작이력이 표시됩니다.
이력2：컨베이어
레인 선택
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동작이력은 사용한 목적에 따라 「사용자」「메인터넌스」「전체누적」탭으로 나눠서 표시됩니다. 표시되는
각 항목에 대해서 설명합니다. 「사용자」와「메인터넌스」탭의 이력 데이터는 리세트 할 수 있으나「전체누적」
은 리세트 할 수 없습니다.
•
계측 시작일시
계측을 시작한 일시입니다 .
•
동작횟수
대상 기기를 구동한 횟수를 나타냅니다 .
•
동작 에러횟수
대상기기 구동시에 에러가 발생한 횟수를 나타냅니다 .
•
에러율
동 작 에 러횟 수／동 작 횟 수× 10 0 ( % )
•
동작 에러율
각 탭의 동작 에러횟수 합계／동작횟수 합계× 100(%)
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우측 하단에 있는 버튼의 기능은 아래와 같습니다 .
[ 이력저장 ] 버튼
표시된 이력데이터를 저장합니다 .
[ 리세트 ] 버튼
표시된 전체 이력데이터 또는 선택된 행만을 리세트합니다 .
[ 옵션 ] 버튼
이 버튼을 누르면「그리드표시 설정」대화창이 표시됩니다 . 각 체크박스를 선택하고 표시할 항목을 지정할 수 있습니다 .
「그리드표시 설정」대화창
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4.2 이력 2：스퀴지
「스퀴지」탭을 선택하면 더블 스퀴지 , 메탈 스퀴지 , 밀폐형 스퀴지 등의 사용상황이 표시됩니다.
각 스퀴지 타입별로 , 또는 더블스퀴지의 경우, 스퀴지 1과 스퀴지2 각각 개별로 이력이 카운트되며 좌측
상단의 드롭다운 리스트에서 선택할 수 있습니다.
표시되는 각 항목의 내용과 버튼의 기능은 「컨베이어」탭과 동일합니다.
이력2：스퀴지
테이블을 선택
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4.3 이력 2：마 스 크
「마스크」탭을 선택하면 마스크 클램프나 마스크 흡착의 동작이력과 마스크 사용횟수가 표시됩니다.
마스크 사용횟수는 마스크명으로 표시되므로 동일한 마스크 명칭으로 기판을 생산중인 경우, 기판데이터가
달라도 하나의 마스크 명칭으로 카운트됩니다.
표시되는 각 항목의 내용과 버튼의 기능은「컨베이어」탭과 동일합니다.
이력2：마스크
테이블을 선택
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