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6-24 6 4. 2 이 력 2：스 퀴 지 「스 퀴 지 」탭 을 선 택 하 면 더 블 스 퀴 지 , 메 탈 스 퀴 지 , 밀 폐 형 스 퀴 지 등 의 사용상 황이 표 시 됩 니 다 . 각 스 퀴 지 타 입 별 로 , 또 는 더 블 스 퀴 지 의 경 우 , 스 퀴 지 1 과 스 퀴 지 2 각 각 개 별 로 이 력 이 카 운 트 되 며 좌측 상 단 의 드 롭 다운 리 스트 에 서 선 택 할 수 …
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우측 하단에 있는 버튼의 기능은 아래와 같습니다 .
[ 이력저장 ] 버튼
표시된 이력데이터를 저장합니다 .
[ 리세트 ] 버튼
표시된 전체 이력데이터 또는 선택된 행만을 리세트합니다 .
[ 옵션 ] 버튼
이 버튼을 누르면「그리드표시 설정」대화창이 표시됩니다 . 각 체크박스를 선택하고 표시할 항목을 지정할 수 있습니다 .
「그리드표시 설정」대화창
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4.2 이력 2：스퀴지
「스퀴지」탭을 선택하면 더블 스퀴지 , 메탈 스퀴지 , 밀폐형 스퀴지 등의 사용상황이 표시됩니다.
각 스퀴지 타입별로 , 또는 더블스퀴지의 경우, 스퀴지 1과 스퀴지2 각각 개별로 이력이 카운트되며 좌측
상단의 드롭다운 리스트에서 선택할 수 있습니다.
표시되는 각 항목의 내용과 버튼의 기능은 「컨베이어」탭과 동일합니다.
이력2：스퀴지
테이블을 선택
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4.3 이력 2：마 스 크
「마스크」탭을 선택하면 마스크 클램프나 마스크 흡착의 동작이력과 마스크 사용횟수가 표시됩니다.
마스크 사용횟수는 마스크명으로 표시되므로 동일한 마스크 명칭으로 기판을 생산중인 경우, 기판데이터가
달라도 하나의 마스크 명칭으로 카운트됩니다.
표시되는 각 항목의 내용과 버튼의 기능은「컨베이어」탭과 동일합니다.
이력2：마스크
테이블을 선택
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4.4 이력 2：클리너
「클리너」탭을 선택하면 블로워 모터의 동작 이력이 표시됩니다. 표시되는 각 항목의 내용과 버튼의 기능은
「컨베이어」 탭과 동일합니다 .
이력2：클리너
레인 선택
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