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2-17 • • 2 3 . 4 마 스 크흡착필터 의청소와교 환 마 스크 흡 착 필 터 의 청 소 와 교 환은 , X 축을 셋 업 위 치 로 이 동 시 켜 서 실 시 합 니 다 . 여 기 에 서 는 , 레 인 1 에 서 필 터 의 청 소 와 교 환을 실 행 할 경 우를 예 로 설 명 합 니 다 . ■ 준비물 •  교환용필터 (K G J- M 91 40 - B 0X SPARE FI…

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• •
2
6
새로운블로워호스를삽입합니다 .
1. 새로운블로워호스를삽입해서 ,호스클램프
에통과시킵니다 .
n
요점
블로워 호스를 삽입할 때에는, 블로워 호스의 구부러짐이
자연스럽게 위를 향하도록 삽입해 주십시오 .
2. 조인트에블로워호스를접속하고 ,일자드라
이버로호스밴드를조여서고정합니다 .
3. 블로워호스를버큠파이프에임시로접속해
둡니다 .
57211-N3 - 00
7
블로워호스의위치를확인합니다 .
블로워호스가호스가이드상에똑바로끼워져있
는지확인합니다 .
8
블로워호스를고정합니다 .
1. 버큠파이프의호스밴드를일자드라이버로
조여서고정합니다 .
2. 육각렌치 (4mm) 로호스클램프의고정볼트
(2 개 ) 를체결해서 ,블로워호스를고정합니
다.
9
본체의안전커버와패널을닫습니다 .
블로워 호스의 삽입
Step 6
호스 가이드
블로워 호스
버큠 파이프
호스 클램프조인트
2-17
• •
2
3.4 마스크흡착필터의청소와교환
마스크 흡착 필터의 청소와 교환은, X 축을 셋업위치로 이동시켜서 실시합니다.
여기에서는 , 레인 1 에서 필터의 청소와 교환을 실행할 경우를 예로 설명합니다.
■ 준비물
•
교환용필터
(KGJ-M9140-B0X SPARE FILTER
）
•
에어블로우툴 ( 옵션구입품 )
1
기판데이터를읽습니다 .
임의의기판데이터를선택해서로딩해주십시오 .
2
[ 셋업 ]-「셋업」탭을열고[ 셋업전환
위치이동 ] 버튼을누릅니다 .
「셋업위치이동」화면이표시되므로 ,「백업유닛셋
업」을선택하고[OK] 버튼을누릅니다 .
58202-N3-00
참고
양 레인에 기판을 선택하고 있을 경우는 , [셋업전환 위치이
동 ] 버튼을 누르면「레인번호 선택」화면이 표시되므로 , 작
업할 레인을 선택해 주십시오 .
3
[ 장치 ]-「컨베이어」탭의「컨베이어
이동」버튼을누릅니다 .
「컨베이어이동」화면이표시되므로 ,대상레인의
반출위치를선택하고[OK] 버튼을누릅니다 .
선택한레인의X 축이셋업위치로이동합니다 .
참고
양 레인에 기판을 선택하고 있을 경우는 , [레인전환 ] 버튼
을 눌러서 작업할 레인으로 전환한 후에, [ 컨베이어 이동 ]
버튼을 눌러 주십시오 .
57203-N3-00
4
셋업커버를오픈합니다 .
5
필터유닛을분리합니다 .
필터유닛좌우의조인트캡을돌려서 ,에어호스
로부터필터유닛을분리합니다 .
57212-N3-00
6
필터유닛에서필터를꺼냅니다 .
L(Lock),O(Open) 의각인이있는조인트캡을
O 방향으로돌려서빼고 ,투명케이스로부터필터
를꺼내주십시오 .
7
필터를청소합니다 .
분리한필터의안쪽과바깥쪽에서에어블로우툴
로불로우해주십시오 .더러움이심할경우는새
로운필터로교환해주십시오 .
8
필터유닛을장착합니다 .
1. 필터를투명케이스에넣고 ,조인트캡을L 방
향으로돌려서잠금니다 .
2. 필터유닛을원상태로장착합니다 .
「셋업위치 이동」화면
Step 2
[셋업] 버튼
[셋업전환 위치이동] 버튼
「컨베이어 이동」화면
Step 3
[장치] 버튼 [레인전환] 버튼대상 레인을 선택
[컨베이어 이동] 버튼
필터 유니트
Step 5,6
백업 유니트
조인트 캡
필터 투명 케이스
필터 유니트
LO 각인
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• •
2
3.5 컨베이어벨트의교환
컨베이어 벨트 (이후 벨트라고 함 ) 의 교환 방법을 다음과 같이 설명합니다.
■ 준비물
•
육각렌치 (3mm,5mm)
•
얇은브러시
•
와이퍼
•
교환용컨베이어벨트
(KKX-M9124-00X BELT CONVEYOR
）
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
작업을안전하게실시하기위해 ,반드시장비를
비상정지상태로해주십시오 .
2
벨트를느슨하게합니다 .
육각렌치 (5mm) 로텐션조정볼트를풀어서긴구
멍끝까지 ( 푸는방향 )이동시켜주십시오 .
57213-N3-00
3
벨트를분리합니다 .
1. 육각렌치 (3mm) 로벨트구동용풀리 ( 이후
풀리라고함 ) 의고정볼트를풀고 ,샤프트를
밀어서틈새를만듭니다 .
2. 벨트를풀리에서빼고샤프트와의틈새로부터
분리해주십시오 .
57214 - N3- 00
4
컨베이어로부터벨트를분리합니다 .
벨트를분리한후 ,컨베이어프레임과기판가이
드의틈새를얇은브러시 ,또는와이퍼로청소해
주십시오 .
5
새로운벨트를장착합니다 .
1. 새로운벨트를풀리에임시로걸어둡니다 .
2. 샤프트를풀리에접속하고볼트를체결합니다 .
3. 텐션조정볼트를이동시켜서텐션을걸고볼트
를체결합니다 .
c
주의
벨트텐셔너 ( 풀리 ) 의체결토르크는 ,반드시5.5N
•
m 로설
정해주십시오 .
6
벨트의장착상태를확인합니다 .
1. 비상정지를해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」탭의[ 좌 ],[ 우 ] 버튼으
로벨트를회전시켜서동작상태를확인해주십
시오 .
3. 벨트가원활하게회전되지않거나 ,많이쳐져
있을때에는 ,텐션조정볼트의위치를조정한
후재차회전시키고확인하면서조정해주십시
오.
벨트를 느슨하게 한다
Step 2
텐션조정 볼트
육각렌치(5mm)
샤프트의 분리
Step 3
구동용 풀리
6각 렌치(3mm)
샤프트
고정 볼트