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1-19 1 6. 비젼 카메라 유니트 본 장비에 는 기판상의 피 듀셜 마크 나 랜 드패턴 을 인 식 하 기 위 한 「기판용 카메 라 」와 마스크 뒷 면 의 피 듀셜 마 크 나 마스크 개 구부를 인식 하 기 위 한 「마스크용 카 메 라 」가 장착되 어 있 습니 다 . 나아 가 , 옵 션 인 솔더 인 쇄 검사 기 능을 겸 비 한 장비 에 는 , 「인쇄 검 사용 카 메 라 」와 조 명 이 추 가 …