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2-14 2 4 전원 OFF 확 인 대 화 창 이 표 시되면 [ OK] 버튼 을 누 릅 니다 . 어 플 리케 이션 이 자 동적으로 종료 됩니 다 . e 5 비상정지 상태로 합니다 . 비 상정 지 대 화 창이 표시되 면 비상정 지 버 튼을 누 르고 [OK ] 버 튼을 누 르십 시 오 . 6 장비 본 체의 전원 스 위치를 OFF 로 합니다 . 화면에 전원 O FF 의 허가 가 표시 되면 장 비 …
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2.3 장비의 전원을 OFF 로 한다
아래의 순서에 따라 장비의 전원을 OFF 로 하십시오 .
1
조작 화면의 [ 전원 Off] 버튼을 누릅니다 .
[전원 Off] 버튼
[전원 Off]버튼
68204-N3-00
2
종료확인 대화창이 표시되면 [ 예 ] 를 누릅니다 .
종료확인 대화창
68205-N3-00
3
원점위치로 이동합니다 .
원점위치 이동 대화창이 표시되면 [OK] 를 누르십시오 .
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전원 OFF 확인 대화창이 표시되면 [OK] 버튼을 누릅니다 .
어플리케이션이 자동적으로 종료됩니다 .
e
5
비상정지 상태로 합니다 .
비상정지 대화창이 표시되면 비상정지 버튼을 누르고 [OK] 버튼을 누르십시오 .
6
장비 본체의 전원 스위치를 OFF 로 합니다 .
화면에 전원 OFF 의 허가가 표시되면 장비 본체의 전원 스위치를 왼쪽으로 돌려서 OFF 로 하십시오 .
c
주의
종료 순서를 무시하고 함부로 전원 스위치를 OFF 로 하면 데이터나 기기의 파손원인이 됩니다 .
c
주의
전원을 OFF 한 후 , 재차 장비를 기동할 경우에는 2 초이상 기다린 후에 ON 으로 해 주십시오 . 순서를 무시하면 경우에 따라서는
장비의 기동에 지장이 생길 수 있습니다 .
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3. 조작화면의 설명
여기에서는 조작화면의 기본적인 구성 , 데이터의 입력방법에 대해 설명합니다 .
3.1 조작화면의 기본구성
조작화면은 「스테이터스 에리어」, 「버튼 에리어」, 「프리 에리어」로 구성되어 있습니다.
화면 구성예
기판 선택후의 셋업화면
버튼 에리어 1
버튼 에리어 2
버튼 에리어 3
스테이터스 에리어
프리 에리어
68206-N3-00
■ 화면상의 에리어
스테이터스 에리어
좌측 끝에 현재의 기계상태 , 중앙에 선택되어 있는 기판명 , 우측 끝에 기판의 생산수량을
표시합니다 .
상단 : 레인 1 용 기판데이터 정보
하단 : 레인 2 용 기판데이터 정보
버튼 에리어 1
조작상의 주요메뉴를 선택할 수 있습니다 . 선택한 버튼에 따라 「프리에리어」의 화면 내용이
바뀝니다 .
버튼 에리어 2 보조적인 기능을 불러내기 위한 버튼입니다 .
버튼 에리어 3
도움말 화면을 불러내기 위한 [ 도움 ] 버튼과 장비의 전원을 OFF 하기위한 [ 전원 Off] 버튼
이 있습니다 .
프리 에리어 메뉴버튼에서 선택된 조작화면이 표시됩니다 .
참고
버튼 에리어의 메뉴버튼을 누르면 프리 에리어의 조작화면이 전환됩니다. 각 조작화면의 버튼기능이나 설정항목의 자세한
내용은 제 4 장 ~ 제 7 장을 참조해 주십시오 .