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3-3 3 「셋업위치 이동」대화창 6 83 01-N 3 - 0 0 4. DO OR LOCK 램 프가 소등된 것 을 확인 하 고 , 커 버 를 열 어서 매트 릭 스 플레 이트 상 에 백업 지 그 를 세 팅 합 니다 . c 주의 비상정 지 버튼은 , 비상 시 에 장비를 즉 시 정 지 시킬 때 사용합니 다 . 평상 시에 는 사 용하 지 말 아 주십시 오 . 5 커버를 닫고 , 「READ Y 」 버…

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2. 각 데이조건설정
2.1
셋업정보
부자재셋업정보
1
2
3
4
8
q
6
[레인전환] 버튼
68300-N3-00
1
기판이즈를 니다 .
판의 확한 사이즈 (X, Y 높이 ) 력합니 .
X : 스톱위치설정니다 .
Y : 컨베이어 폭이 .
높이 : 높이설정 .
2
정보를 력합니다 .
1. 마스크의 합니 .
2. 마스크 제판 ( 마스크 준위치 ) 합니 .
c
주의
마스크 제판준에는 특별한 제한은 없습니 . 기판사이즈와 데이터를 선택한 레인에 따라서 택타임이 늘어날 경가 있습니 .
3
스퀴지 택합니다 .
사용할 스퀴지의 종류와 사이합니 . 스퀴타입에같은 특있습 .
우레 : 압력스퀴므로 , 발생한다 .
: 압력스퀴않으므로 , 쇄압력향은 않는 .
4
백업 지그를 세팅합니다 .
1. [ ] 누릅니 . 업할 항목을 선택 .
2. 우는 ,「반송확인 위치」를 선택합니 . 동해컨베폭이 기판
사이즈에 응해자동으로 경됩 .
3. 플레트채 전환우는 ,「백업유닛 . 업위치로 이동해서
폭이 최대으로 므로 , 릭스 플레탈착할 수가 있습 .
n
요점
스 플를 탈할 경우는 , 안을 확인고 양손으로 단히 잡서 똑로 탈착해 주 .
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「셋업위치 이동」대화창
68301-N3-00
4. DOOR LOCK 프가 소등된 확인 , 어서 매트플레이트백업
니다 .
c
주의
비상정지 버튼은 , 비상에 장비를 즉시 정시킬 때 사용합니 . 평상시에는 사용하지 말아 주십시 .
5
커버를 닫고 ,「READY버튼누릅니다 .
6
[ 기판반 ] 버튼눌러서 , 기판반입합니다 .
화면의 따라 반입하면 , 자동적으로 기판이 .
7
기판고정 상태니다 .
1. 셋업[ 셋업 ]-「반송확인」을 합니 .
2. DOOR LOCK 크가 소등 , 으로 만져
틀어반동이 합니 .
8
엣지클램프레셔를 경합니다 .
Step7 에서 고정경우에 , 클램프레셔합니다 .
으로 , 기판에 대해클램프레하면 휘어발생 , 하면 동이
생하게 됩니다 .
9
크를 세팅합니다 .
마스크팅위치에 면서 클램스위ON 마스크클램주십 .
팅위 , 4 「7.1 마스크 즈와 스톱치」또어서 좌측에
부착되조해 주 .
0
커버를 닫고 ,「READY버튼누릅니다 .
q
피듀셜 마크 정보를 설정합니다 .
1. 듀셜 크의 준위 / 위치좌표 / 마크타입 , 마스크에서 [ 공통 ] 또는 [ ]
으로 합니다 .
2. 마스크의 준위치 , 준위에서력합니 .
3. 마스크의 듀셜 크의 정확인식마크 No. 합니 .
4. [ 마크 ] 눌러서 작성합니 .
n
요점
미 마보가 작성 완료되어 있을 경우는 , [ ] 을 눌서 피듀셜 마크 위가 정지 확해 주십 . 확
, 기듀셜의 경우는「기 1」또「기 2」, 마스크 피듀셜의 경우는「마스 1」또「마스크 2」를 선서 [
] 튼을 눌러 주십 .
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2.2 위치맞춤 설정
위치맞춤 옵셋
[그래픽 위치맞춤] 버튼
[레인전환] 버튼
68302-N3-00
[ 그래픽 위치맞춤 ] 튼을 눌러서 , 위치맞춤 화면을 열고 화면보면값을 결정 .
기에 , 맞춤을 사용하므로 , 으로 「위치맞춤 X(mm)」,「위맞춤 옵셋 Y(mm)」,
「위맞춤 옵셋 R(deg)」의 값을 설정합니 .
n
요점
맞춤 5 「8. 」을 주십 .