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4-2 4 2. 장비 의 기동 과 워 밍 업 장비 를 기 동 한 후 워 밍 업 운전을 해 주십 시 오 . 워 밍업 실 행 시 간은 10 분 정 도 면 됩 니다 . 단 , 전 회 운 전 후 2 시간 이 내 의 경 우 워 밍 업 은 필 요 없습 니 다 . 1 시작전 점검을 하고나서 장 비를 기동합니다 . 시 작 전 점검 항목 과 장비 의 기 동 방법 에 대 해서 는 제 2 장 「기 본적 인 조작…
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1. 개요
이 장에서는 오페레이터가 일상적으로 실시할 작업을 아래의 플로우차트에 따라 설명합니다 .
장비를 기동한다
시작전 점검을 한다
워밍업 운전을 한다
셋업전환
기판선택
전회와 같은 기판의 생산여부
롤링 운전을 한다
생산을 종료한다
생산을 시작한다
전원을 OFF한다
일상 작업의 흐름
YES
NO
필요에 따라 실행한다
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2. 장비의 기동과 워밍업
장비를 기동한 후 워밍업 운전을 해 주십시오 . 워밍업 실행시간은 10 분 정도면 됩니다 . 단 , 전회 운전후 2 시간
이내의 경우 워밍업은 필요 없습니다 .
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시작전 점검을 하고나서 장비를 기동합니다 .
시작전 점검 항목과 장비의 기동 방법에 대해서는 제 2 장「기본적인 조작」을 참조하시기 바랍니다 .
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셋업 화면의 [ 워밍업 ] 버튼을 누릅니다 .
「워밍업」화면이 표시됩니다 .
셋업 화면
「유틸리티」탭
여기를 누르면 워밍업 화면이 표시된다
셋업 화면
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워밍업 시간을 설정합니다 .
[ 지정시간에 정지 ] 버튼을 누르고 워밍업 시간을 입력해 주십시오 . 설정한 시간에서 워밍업 운전을 자
동정지시킬 수 있습니다 .
워밍업 설정화면
이 버튼을 누른다
워밍업 시간을 입력한다
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[ 시작 ] 버튼을 눌러서 워밍업 운전을 시작합니다 .
「진행상태」에 워밍업의 경과시간이 표시됩니다 .
워밍업 운전화면
워밍업 경과시간
도중에 정지할 경우
여기를 누른다
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c
주의
워밍업 중에 이상이 발생하면 [ 정지 ] 버튼을 누르고 운전을 정지해 주십시오 . 원인을 제거한 후 [ 시작 ] 버튼으로 워밍업을 재실
행 해 주십시오 .
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워밍업을 종료합니다 .
Step3 에서 설정한 시간이 되면 장비는 자동적으로 운전을 종료합니다 .（도중에서 종료하고자 할 때는
[ 정지 ] 버튼을 눌러 주십시오 .) 워밍업 종료후는 [ 닫기 ] 버튼을 누르고 이전 화면으로 돌아갑니다 .