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4-3 4 4 [ 시작 ] 버튼 을 눌러서 워밍 업 운전을 시작합 니다 . 「진 행 상태」에 워 밍업 의 경 과시 간이 표시 됩 니 다 . 워밍업 운전화면 워밍업 경과시간 도중에 정지할 경우 여기를 누른다 68402-N3-00 c 주의 워 밍 업 중에 이상이 발생하면 [ 정지 ] 버 튼을 누 르고 운전을 정 지 해 주십시 오 . 원인 을 제거 한 후 [ 시작 ] 버 튼 으로 워 밍 업 을 재…
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2. 장비의 기동과 워밍업
장비를 기동한 후 워밍업 운전을 해 주십시오 . 워밍업 실행시간은 10 분 정도면 됩니다 . 단 , 전회 운전후 2 시간
이내의 경우 워밍업은 필요 없습니다 .
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시작전 점검을 하고나서 장비를 기동합니다 .
시작전 점검 항목과 장비의 기동 방법에 대해서는 제 2 장「기본적인 조작」을 참조하시기 바랍니다 .
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셋업 화면의 [ 워밍업 ] 버튼을 누릅니다 .
「워밍업」화면이 표시됩니다 .
셋업 화면
「유틸리티」탭
여기를 누르면 워밍업 화면이 표시된다
셋업 화면
68400-N3-00
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워밍업 시간을 설정합니다 .
[ 지정시간에 정지 ] 버튼을 누르고 워밍업 시간을 입력해 주십시오 . 설정한 시간에서 워밍업 운전을 자
동정지시킬 수 있습니다 .
워밍업 설정화면
이 버튼을 누른다
워밍업 시간을 입력한다
68401-N3-00
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[ 시작 ] 버튼을 눌러서 워밍업 운전을 시작합니다 .
「진행상태」에 워밍업의 경과시간이 표시됩니다 .
워밍업 운전화면
워밍업 경과시간
도중에 정지할 경우
여기를 누른다
68402-N3-00
c
주의
워밍업 중에 이상이 발생하면 [ 정지 ] 버튼을 누르고 운전을 정지해 주십시오 . 원인을 제거한 후 [ 시작 ] 버튼으로 워밍업을 재실
행 해 주십시오 .
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워밍업을 종료합니다 .
Step3 에서 설정한 시간이 되면 장비는 자동적으로 운전을 종료합니다 .（도중에서 종료하고자 할 때는
[ 정지 ] 버튼을 눌러 주십시오 .) 워밍업 종료후는 [ 닫기 ] 버튼을 누르고 이전 화면으로 돌아갑니다 .
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3. 기판의 선택
미리 작성되어 있는 기판데이터 리스트로부터 , 생산할 기판을 선택합니다 .
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기판데이터를 선택합니다 .
1. 기판데이터가 미선택인 경우에는 셋업화면의 [ 기판선택 ] 버튼을 눌러서 , 등록되어 있는 기판데이터
를 표시합니다 .
2. [ 레인전환 ] 버튼을 누르고 생산할 레인의 기판 데이터명에 커서를 맞춰서 , [ 선택 ] 버튼을 누르면 선
택한 기판데이터가 로딩됩니다 .
[기판선택] 버튼
[레인전환] 버튼
기판의 선택
등록되어 있는 기판데이터 리스트에서 선택
선택된 기판명이
표시된다
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선택한 기판데이터를 확인합니다 .
스테이터스 에리어에 선택한 기판명이 표시되어 있는지 확인해 주십시오 .
또한 , 표시되어 있는 기판 사이즈 , 마스크 사이즈 , 스퀴지 타입이 올바른지 확인해 주십시오 .
기판 선택후의 셋업화면
선택된 기판명
마스크 사이즈
스퀴지 종류
레인1용 기판데이터
68404-N3-00