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NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03 2-1-7 -3
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03
概要
基板传送带
2
2-1-6
-3
维修保养篇
2-1-6
前侧・后侧
*在基板检测传感器的各轨道上，存在4
种透过类型、2个反射类型。
延长传送带
前侧
■单轨传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带
■双轨传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带
■双轨传送带
■单轨传送带
线性导轨
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板支撑块
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
基板检测
传感器
线性导轨
基板传送皮带
基板传送皮带
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
基板传送皮带
基板检测传感器
基板检测传感器
基板检测传感器
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03
2-1-7
-3
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03
概要
3
2-1-6
-5
维修保养篇
2-1-6
主控制器
前侧
过滤器