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NPM-W2 EJM7DC-MB-05M-05 5-3-1 -4 每 1 4 0 小 时 保 养 定 期 检 查 1 1 清扫基板座和基板支撑块 ●使用棉纱布、毛刷等。 ●基板支撑块 ( 自动更换用 ) 的 上面，请用蘸了清洗剂的棉 纱布擦拭。 ●请勿用锋利勿损伤基板支撑 块 ( 自动更换用 ) 上面的涂料。 1 0 平稳 ( 无倾斜 ) 地安 装基板支撑块 ● 基板支撑块 ： 4 枚 13 1 2 把供料器工作台盖 返回原位 取下棉纱…
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ACTIVATION ACTIVATION
基板支撑
块的清扫
维修保养篇
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卸下基板支撑块
●基板支撑块：4枚
●请注意不要在多功能识别照相机上掉落物体或者撞击。
●当在基板支撑块上存在支撑销时，请小心不要掉落。
挡块
基板支撑块
●用两手慢慢拉出。往下按住挡块
拉出内侧的基板支撑块。
SERVO
ON
15
16
14
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
17
18
(确认基板支撑块下降到原点)
确认提示
( )
2
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每
1
4
0
小
时
保
养
定
期
检
查
11
清扫基板座和基板支撑块
●使用棉纱布、毛刷等。
●基板支撑块(自动更换用)的
上面，请用蘸了清洗剂的棉
纱布擦拭。
●请勿用锋利勿损伤基板支撑
块(自动更换用)上面的涂料。
10
平稳(无倾斜)地安
装基板支撑块
●基板支撑块：4枚
13
12
把供料器工作台盖
返回原位
取下棉纱布
螺栓
●清扫基板支撑块时，请确认支撑销的状态。支撑销的尖端粘有助焊剂时，请使用棉纱布擦拭。
注意
●对支撑销自动更换用的支撑销，请勿发生落下等或者施加压力。可能会变形。
另外，请勿使用变形的支撑销。
●请注意不要使支撑销自动更换用的支撑销的吸引孔发生堵塞情况。
注意
吸引孔
●按照与原来相同的方向(如
照片所示，螺栓位于前方
的右侧)进行安装。
●如果基板支撑块发生倾斜，
将有可能产生与轨道相干
涉的危险。
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基板支撑
块的清扫
1
5-3-2
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*如果错误地安装了C、D的基板支撑块，则无法变更到单轨模式的配置。
维修保养篇
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●单轨模式的配置●双轨模式的配置
■基板支撑块(标准)时
前侧
前侧
后侧 后侧
D
C
D
CCC
CC
基板
支撑块
型号
基板支撑块的概略图
备注
背面 正面
C N610134595AB
标准
D N610134594AB
选购件
在这里对基板支撑块(标准/自动更换用(选购件))的清扫步骤加以说明。
●基板支撑块和基板座上如果有灰尘，是造成基板支撑块安装不良、基板破损的原因。
●从接近基板支撑块的附近起执行清扫作业。在后侧存在托盘供料器的设备上，则从前侧开始作业。
使用工具: 棉纱布、刷子等 所需时间: 1 0分钟
注意
在单轨模式与双轨模式下，后侧基板支撑块的配置有所不同。(参照下图)
在变更轨道模式时，一定需要变更支撑块的配置。
请注意，如果没有使用与各个轨道模式相符的支撑块，将无法正常动作。