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NPM-W2 EJM7DC-MB-05M-05 5-3-2 -2 每 1 4 0 小 时 保 养 定 期 检 查 ■基板支撑块 ( 自动更换用 ) 时 ( 选购件 ) 时 ●单轨模式的配置 ●双轨模式的配置 前侧 前侧 后侧 后侧 * 如果错误安装基板支撑块 E 、 F ，不可变更为单轨 模式的配置。 E E F F E E F F 基板 支撑块 型号 基板支撑块的概略图 背面 正面 E N61014501 0AB F N6101450…
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基板支撑
块的清扫
1
5-3-2
-1
*如果错误地安装了C、D的基板支撑块，则无法变更到单轨模式的配置。
维修保养篇
5-3-2
●单轨模式的配置●双轨模式的配置
■基板支撑块(标准)时
前侧
前侧
后侧 后侧
D
C
D
CCC
CC
基板
支撑块
型号
基板支撑块的概略图
备注
背面 正面
C N610134595AB
标准
D N610134594AB
选购件
在这里对基板支撑块(标准/自动更换用(选购件))的清扫步骤加以说明。
●基板支撑块和基板座上如果有灰尘，是造成基板支撑块安装不良、基板破损的原因。
●从接近基板支撑块的附近起执行清扫作业。在后侧存在托盘供料器的设备上，则从前侧开始作业。
使用工具: 棉纱布、刷子等 所需时间: 1 0分钟
注意
在单轨模式与双轨模式下，后侧基板支撑块的配置有所不同。(参照下图)
在变更轨道模式时，一定需要变更支撑块的配置。
请注意，如果没有使用与各个轨道模式相符的支撑块，将无法正常动作。
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-2
每
1
4
0
小
时
保
养
定
期
检
查
■基板支撑块(自动更换用)时(选购件)时
●单轨模式的配置●双轨模式的配置
前侧
前侧
后侧 后侧
*如果错误安装基板支撑块E、F，不可变更为单轨模式的配置。
EE
FF
EE
FF
基板
支撑块
型号
基板支撑块的概略图
背面 正面
E N610145010AB
F N610145011AB
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基板支撑
块的清扫
维修保养篇
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确认提示
卸下交换台车
(→P.3-2)
前侧
1
2
3
(前侧/后侧的X轴移动到退
避位置)
9
清扫基板座和基板支撑块
●使用棉纱布、毛刷等。
●基板支撑块(自动更换用)
的上面，请用蘸了清洗剂
的棉纱布擦拭。
●请勿用锋利勿损伤基板支
撑块(自动更换用)上面的涂
料。
10
基板支撑块
导轨销
平稳(无倾斜)地安
装基板支撑块
●基板支撑块：4枚
12
11
把供料器工作台盖
返回原位
取下棉纱布
2
●如果基板支撑块发生倾斜，
将有可能产生与轨道相干
涉的危险。
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