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NPM-W2 EJM7DC-MB-06M-05 4 从安全盖卸下过 滤器进行清扫 ● 使用气枪。 ● 请勿使用有机溶剂。 过滤器 5 把过滤器安装在 安全盖上 取 出 过 滤 器 芯 进 行 清 扫 ① 分解过滤器单元。 ② 使用气枪，清除过滤器芯的 灰尘。 ( 请勿使用有机溶剂 ) ③ 把过滤器单元组装成原样。 6 贴装头 过滤器芯 O 型环 过滤器盒 圆环 真空泵 6-7 -2 3 卸下安全盖 ● 螺丝 (6 个 ) ( 后侧 ) …
NPM-W2
EJM7DC-MB-06M-05
对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具:六角扳手(4 mm) 所需时间:30分钟
●作业过程中，注意不要碰撞到头。
7
安装安全盖
6-7
-1
安全盖
2
卸下后侧的交换台
车或者托盘供料器
●拆卸方法
・交换台车时
(→P.3-2)
・托盘供料器时
(→P.14-8)
8
安装后侧的交换台
车或者托盘供料器
●安装方法
・交换台车时
(→P.3-2)
・托盘供料器时
(→P.14-8)
●螺丝(6个)
(后侧)
维修保养篇
6-7
4
1
主电源开关置于OFF，
上锁
9
解锁
ON
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EJM7DC-MB-06M-05
4
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
5
把过滤器安装在
安全盖上
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
6
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
6-7
-2
3
卸下安全盖
●螺丝(6个)
(后侧)
安全盖
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
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EJM7DC-MB-06M-05
6-18
-1
维修保养篇
6-18
安装交换台车
(→ P.3-2)
8
( ( ))
3
清扫投光、受光部
●用柔软的棉纱布擦拭。
(如果有损伤，高度传感器 会无法
正常发挥功能。)
投光、受光部
对高度传感器(选购件)的投光、受光部的清扫进行说明。
使用工具:棉纱布等 所需时间: 一个部位5分钟
4
把Y轴往内推
1 3
卸下交换台车
(→P.3-2)
5
6
(从下方看起时的照片)
OFF
SERVO
2
SERVO
ON
7