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NPM-W2 EJM7DC-MB-13M-02 计测确认和反映 ( 计测 ) 3 2 1 ( 第 1 阶层 ) ( 第 2 阶层 ) 13-21-2 -13 在精度验证动作中，请不要按 ST OP 按钮。 否则，将不能在精度验 证 动作的中途开始重新操作。 注意 计测面补正治具 ●在自动运转种计测治具。 计测结束之后，运转停止， 自动运转则结束。 4 5 6 确认信息 ●使用精度验证 MCDATA 时 : ( → P.13-21-1 -…
NPM-W2 EJM7DC-MB-13M-02
1
1
ṗ
13-21-2
-12
生产准备 3 (生产动作的设定)
将[检查]、[基板识别]以外的项目
设为OFF
NPM-W2 EJM7DC-MB-13M-02
计测确认和反映 (计测)
321
(第1阶层)
(第2阶层)
13-21-2
-13
在精度验证动作中，请不要按STOP按钮。
否则，将不能在精度验证动作的中途开始重新操作。
注意
计测面补正治具
●在自动运转种计测治具。
计测结束之后，运转停止，
自动运转则结束。
4
56
确认信息
●使用精度验证MCDATA
时:
(→ P.13-21-1
-1
‘■验证数
据的反映’)
精度验证
7
( )
维修保养篇
13-21-2
ACTIVATION
ACTIVATION
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计测确认和反映 (计测结果的确认)
1
2
3
1
2
3
按 来切换
4
5
A
4
选择检查头的工作台
●各元件的Cpk规定值
(→『操作篇』P.9-1-1 ‘基本性能’)
A
Cpk
5
13-21-2
-14
ṗ
●2D检查头
A类型: 分辨率 18 μm ± 0.020 mm
B类型: 分辨率 9 μm ± 0.010 mm
●当使用用来反映补偿值的MCDATA时，
将一直反映检查照相机的补偿值。