JUKI_KE-2070-2080_MAINTE_CH - 第153页
维修调整要领书 10 -6 10 -4- 2 ． KE - 2070 Rev. F 、 KE - 2080 Rev. H 、 KE - 2080R Rev. B 以后的版本时 下列部件的耗损，可能导致压力降低。 < 消耗部件表 > 更换部件组品号： 40099554 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检 吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检 排气阀 2 有无变形、硬化、…
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10-5
10-4．真空泵部件的更换（选项品）
10-4-1．KE-2070 Rev. E、KE-2080 Rev. G、KE-2080R Rev. A 以前的版本时
１） 确认真空泵没有运行， 或者是否运行后很快出现高温。
２） 取下主机正面的盖子，拧松泵正面固定风扇组的 M4 螺丝，向前方卸下。
３） 用 BOX 扳子拧松固定泵套的 4 处六角螺栓，把套子卸下来。
４） 从凹处把过滤器卸下来，检查脏污程度。（太脏时要更换）
５） 从旋转部槽拔出叶片后，进行更换。（1 套 8 枚）
※叶片的方向请参见下图。
６） 按上述逆顺序进行安装。
７） 请确认再运转后没有异常声响，负压表数值高于-80kPa。
真空泵
M4螺栓
风扇组
过滤器（40061996）
叶片（×8）
（40061995）
叶片（×８）
（40061995）
过滤器
（40061996）
叶片的安装方向
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10-6
10-4-2．KE-2070 Rev. F、KE-2080 Rev. H、KE-2080R Rev. B 以后的版本时
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶
2 有无裂痕、硬化 目检
需要更换下述时，请另行购买。
・真空黄油 货号：40119551
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・螺钉松动防止剂 NK-4 货号：40119552
在拧紧固定器时（更换碗形密封垫圈、
防止吸气阀碰触胶垫）需要。
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○更换准备
１） 请确认真空泵没有运行。
※ 真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
２） 请拆下主体正面的外罩。
３） 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓 (M4×8)拆下来。
４） 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
○ 更换密封垫圈
１） 卸下泵头罩上的 4 根(共 8 根)
六角凹头螺栓 (M5×20)。
３） 固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N・m 対角拧紧。
※确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。
② ③
④
真空泵
①
２） 卸下泵头罩内侧的黑色密封垫圈
(共 2 个)，换上新的密封垫圈。