YSM10_KMG_000_2009(CWD) - 第20页
P AGE 17 Condential & Proprietary H024179 YSM10 YSM10 Air circuit 真空発生用バルブ VQD115-5MO-X1 シャフトブロー用バルブ VQ120-5MO VQ111U-5LO-X555 真空破壊用バルブ H1 PP P KKE-M7113-00X TUS0425 VQ111U-5LO-X555 真空破壊用バルブ 真空発生用バルブ VQD115-5MO-X1 P…
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Condential & Proprietary
H024179
YSM10YSM10
Air circuit
SC4-M3MA
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Φ8 ORANGE
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φ6 ORANGE
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⑲
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φ4 BLACK
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Φ8 ORANGE
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⑧
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φ6 BLACK
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Φ8 ORANGE
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⑭
⑭
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)
オプション時追加
オプション時追加
オプション時追加
⑳
⑳
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SC3W-M5-4
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⑩
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⑩
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⑬
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N
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⑲はカバー仕様で取付
UP6
UP6
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Φ8 ORANGE
Φ10 ORANGE
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Φ4 ORANGE
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⑥
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φ4 BLACK
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⑨
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Φ8 ORANGE
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⑭
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)
オプション時追加
オプション時追加
オプション時追加
⑳
⑳
⑳
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SC3W-M5-4
⑪
⑩
⑪
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⑬
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UC8
標準はUC8
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UC4
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I
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N
⑲はカバー仕様で取付
⑲はカバー仕様で取付
UP6
UP6
ATS有は USD6-4を外し
ATS側の継手を接続する
ATS側配管Φ6 ORANGE
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17
Condential & Proprietary
H024179
YSM10YSM10
Air circuit
真空発生用バルブ
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1
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真空破壊用バルブ真空発生用バルブ
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NO.
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1
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-
-
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9
9
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m
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s
s
s
s
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o
o
n
n
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18
Condential & Proprietary
H024179
YSM10YSM10
Air circuit
真空発生用バルブ
VQD115-5MO-X1
シャフトブロー用バルブ
VQ120-5MO
VQ111U-5LO-X555
真空破壊用バルブ
H1
PPP
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真空破壊用バルブ真空発生用バルブ
VQD115-5MO-X1
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TUS0425
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真空破壊用バルブ真空発生用バルブ
VQD115-5MO-X1
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H5
φ10 ORENGE φ10 ORENGE
NO.
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PARTS NO. PARTS NAME QTY. DESCRIPTION
1
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③③③
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VQD115-5MO-X1
シャフトブロー用バルブ
VQ120-5MO
VQ111U-5LO-X555
真空破壊用バルブ
H1
NOTE
1.1.YSM10(KMG) HMYSM10(KMG) HM5 HEAD
PPP
KKE-M7113-00X
TUS0425
VQ111U-5LO-X555
真空破壊用バルブ真空発生用バルブ
VQD115-5MO-X1
PPP
TUS0425
KKE-M7113-00X
H2
VQ111U-5LO-X555
真空破壊用バルブ真空発生用バルブ
VQD115-5MO-X1
PPP
TUS0425
KKE-M7113-00X
H5
φ10 ORENGE φ10 ORENGE
NO.
KHY-M4592-10X VAC5 SENS BRD ASSY1
PARTS NO. PARTS NAME QTY. DESCRIPTION
1
ZZB10-X1772
3
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JOINTKKE-M7113-00X
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①
②
③③③
KHY-M4592-10X
KLW-M745A-04X
H
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,
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