DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第101页
4-23 Tools 简化操作 (shortcut) 菜单 <Point> 列 该位置用来测量基板的平坦度。 <X> 列 平坦度测量位置的 X 位置值。 <Y> 列 平坦度测量位置的 Y 位置值。 <Z1~4> 列 在 X 、 Y 位置值测量的 Z 高度值。 <MAX> 行 表示基板 9 点的 Z 测量值中的最大值。 <MAX> 行 表示基板…
4-23
Tools
简化操作
(shortcut)
菜单
<Point> 列
该位置用来测量基板的平坦度。
<X> 列
平坦度测量位置的X位置值。
<Y> 列
平坦度测量位置的Y位置值。
<Z1~4> 列
在X、Y位置值测量的Z高度值。
<MAX> 行
表示基板9点的Z测量值中的最大值。
<MAX> 行
表示基板9点的Z测量值中的平均值。
<MIN> 行
表示基板9点的Z测量值中的最小值。
<Position> 领域
<Light> 按钮
外部
调节选定拱架的摄像头的外部照明亮度。
内部
调节选定拱架的摄像头的 内部照明亮度。
<Move> 按钮
移动选定Gatry的基准相机。
<Get> 按钮
选定的Fiducial Mark位置上应用当前位置的坐标值。
<PrevMove> 按钮
Fiducial Camera从当前位置移动到上一个位置。
<NextMove> 按钮
Fiducial Camera从当前位置移动到下一个位置。
<InitialXY> 领域
<MarginX> 编辑框
是基板的X方向的 Margin值。
4-24
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
<MarginY> 编辑框
是基板的Y方向的Margin值。
1: MarginY
2: MarginX
<Clear> 按钮
删除<Spread> 领域的Z 列示教值。
备 注 删除z支柱一次教学价值不能撤消。
<Offset Check> 领域
<Head> 组合框
选择用来测量基板平坦度的Head。
<PrevDetect / NextDetect> 按钮
<PrevDetect> 按钮：测量<Spread> 领域中当前所选坐标的上一个坐标
值。
<NextDetect> 按 钮：测 量 <Spread> 领域中当前所选坐标的下一个坐标
值。
备 注 <PrevDetect / NextDetect>按钮只有在圈选了<Manual>复选框时
才会激活。
<Manual> 选择框
利用<PrevDetect / NextDetect>按钮以手动方式示教X、Y坐标的Z 值。
<Detect Z> 按钮
针对<Spread>领域中当前所选单元格(cell)的X、Y坐标的Z 值进行示
教。