DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第435页
14-69 Machine Calibration 14.3.8.8. Fly Camera Offset Calibration 校正飞行相机和 Head Spindle 中心间的差距。 执行 Fly Camera Offset Calibration 之 前， 需先确认 ANC 1 号孔中是否已安装 CNT20 喷嘴。 使用 He ad 的 Reference Fiducial Mark 时， 同时执行 Reference Fidu…
14-69
Machine Calibration
14.3.8.8. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。执行Fly Camera Offset Calibration之
前，需先确认ANC 1 号孔中是否已安装CNT20喷嘴。
使用Head的Reference Fiducial Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在 System Setup菜单的Camera 对话框中进
行设置。Default值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 未安装CNT20 喷嘴时，点击<Nozzle Prepare>按钮后，请在ANC 1号孔中手动插
入CNT20喷嘴。
2. 选择<Automatic Next( 自动下一步)> 校验框后，点击<14. Fly Camera Offset> 按
钮，则对选择的Gantry 自动执行校正。
3. 校正首先识别Head的Reference Fiducial Mark测量飞行相机的R Offset。之后用
飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2 点测量飞行相机的 Scale值。
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。点击
<Update>按钮。
结果值在System Setup菜单的Camera 对话框中可以确认。