DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第528页
16-5 Diagnosis( 诊断 ) 16.2. 传输装置 （ Conveyor ） [F3] 检查传输装置领域的各种装置的 状态。 单击此按钮时显示如下的对话框。 详细事项 请参照 “ 4.5 传送部分 (Conveyor) ” 。
16-5
Diagnosis(
诊断
)
16.2. 传输装置（Conveyor） [F3]
检查传输装置领域的各种装置的状态。单击此按钮时显示如下的对话框。 详细事项
请参照 “ 4.5
传送部分
(Conveyor) ”。
16-7
Diagnosis(
诊断
)
<Side>: Side照明的照明值的范围是0~15。
<Outer>: Outer照明的照明值的范围是0~15。
<Inner>: Inner照明的照明值的范围是0~15。
<关闭> 按钮
关闭对话框。
16.4. 真空（Vacuum） [F5]
检查头的压缩气的状态。
图
16.7 “Vacuum Diagnosis”
对话框
<Head Vacuum leve> 领域
显示各头压缩气的气压值数，同时控制真空发生器。
<Gantry> 领域
选择要检查空压状态的GANTRY。
<当前水平>
显示各Head的当前空压。
<真空 OFF> 按钮
显示“OFF”时按此按钮，Spindle 内的空压变为真空状态的同时按钮显示
“ON”。
显示“ON”时按此按钮会解除Spindle内的真空状态的同时按钮显示“OFF”。
<吹气 OFF> 按钮
显示“OFF”时按此按钮，Spindle 内投入0.1Mpa的稳定空压的同时按钮显示