DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第563页
19-3 PM Manager Setup 画面 图 19.3PM Manager 的 Setup 画面 History 画面 图 19.4 PM Manager 的 History 画面
19-3
PM Manager
Setup 画面
图
19.3PM Manager
的
Setup
画面
History 画面
图
19.4 PM Manager
的
History
画面
19-4
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
19.4. Main 画面
19.4.1. 查看检查项目
查看当日要检查的项目
当日需要检查的项目在<Status>列中显示红色<Check> 按钮。
当日可以不检查的项目在<Status>列中显示黑色<OK> 按钮。
当日需要检查的项目总个数显示在”Remains” 中。
19.4.2. 以检查周期查看项目
设备的检查项目，在Main画面中可以按周期（日、周、月）进行确认。
19.4.2.1. 查看日、周、月周期的所有检查项目
<在<Period Search condition>领域中选择 <Total>选项按钮，可查看日、周、月周期
的所有检查额项目。
19.4.2.2. 查看日周期的检查项目
<Period Search condition>领域中选择<Daily>选项按钮可查看日周期的检查项目。