Vakuumtooling Beru HS50 - 第25页
SOKO Vakuum-Tooling 1 Nachrüstanleitung SO KO Vakuum-Tooling Beru HS -50 (00166137-01) Ausgabe 01/2006 25 1.2 Umbau des T r ansport s Damit das Substrat nicht zerstört wird, müssen die Klemmkämme in beiden Bearbeitu ngsb…
1 Nachrüstanleitung SOKO Vakuum-Tooling Beru HS-50 (00166137-01) SOKO Vakuum-Tooling
Ausgabe 01/2006
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Empfohlene Einstellwerte für die vorhandene Kundenträgerplatte: 1
1
OUT 1
OUT 2
HYS, N.O. HYS, N.C.
H-1= 450 mbar H-2 = 150 mbar
h-1= 0,07 mbar h-2 = 0,07 mbar
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1.2 Umbau des Transports
Damit das Substrat nicht zerstört wird, müssen die Klemmkämme in beiden Bearbeitungsberei-
chen demontiert werden. 1
Die Ansteuerung des Vakuumtoolings wird mit Magneten auf den Hubtischen fixiert. Die Träger-
platten werden über 2 Passstifte und 2 Schrauben auf der Hubtischplatte zentriert und befestigt.1
1
1
Zentrierstifte
(einer ist verdeckt)
Zentrierstifte
(einer ist verdeckt)
Schrauben
Schrauben
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Nach dem Einbau des Vakuum-Toolings muss der Stopper ausgerichtet und mittels Schlitzschrau-
bendreher fixiert werden. 1
1
1
Schraube für Stopper-Fixierung