PanasonicCM602维修手册 - 第80页
CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3- 80 (3/4) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 HPH101 NP1 真空压力传感 器 AF HPH102 NP2 真空压力传感 器 AF HPH103 NP3 真空压力传感 器 AF HPH104 NP4 真空压力传感 器 AF HPH105 NP5 真空压力传感 器 AF HPH106 NP6 真空压力传感 器 AF HPH107 NP7 真空压力传感 器 A…
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
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(2/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
PH542
支撑下限
2
A
PH543
支撑下限
1
A
PH544
支撑上限
2
A
PH545
支撑上限
1
A
PH942
支撑下限
2
B
PH943
支撑下限
1
B
PH944
支撑上限
2
B
PH945
支撑上限
1
B
PH540
支撑金属板检测
2
A
PH541
支撑金属板检测
1
A
PH940
支撑金属板检测
2
B
基板支座
PH941
支撑金属板检测
1
B
LS226
供料器工作台设置
(
左
)
AF
LS234
供料器工作台设置
(
右
)
AF
LS426
供料器工作台设置
(
左
)
AR
LS434
供料器工作台设置
(
右
)
AR
LSB26
供料器工作台设置
(
左
)
BF
LSB34
供料器工作台设置
(
右
)
BF
LSD26
供料器工作台设置
(
左
)
BR
整体交换台车的
对应装置
LSD34
供料器工作台设置
(
右
)
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-00
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
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(3/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HPH101
NP1
真空压力传感器
AF
HPH102
NP2
真空压力传感器
AF
HPH103
NP3
真空压力传感器
AF
HPH104
NP4
真空压力传感器
AF
HPH105
NP5
真空压力传感器
AF
HPH106
NP6
真空压力传感器
AF
HPH107
NP7
真空压力传感器
AF
HPH108
NP8
真空压力传感器
AF
HPH109
NP9
真空压力传感器
AF
HPH110
NP10
真空压力传感器
AF
HPH111
NP11
真空压力传感器
AF
HPH112
NP12
真空压力传感器
AF
HPH101
NP1
真空压力传感器
AR
HPH102
NP2
真空压力传感器
AR
HPH103
NP3
真空压力传感器
AR
HPH104
NP4
真空压力传感器
AR
HPH105
NP5
真空压力传感器
AR
HPH106
NP6
真空压力传感器
AR
HPH107
NP7
真空压力传感器
AR
HPH108
NP8
真空压力传感器
AR
HPH109
NP9
真空压力传感器
AR
HPH110
NP10
真空压力传感器
AR
HPH111
NP11
真空压力传感器
AR
HPH112
NP12
真空压力传感器
AR
HPH101
NP1
真空压力传感器
BF
HPH102
NP2
真空压力传感器
BF
HPH103
NP3
真空压力传感器
BF
HPH104
NP4
真空压力传感器
BF
HPH105
NP5
真空压力传感器
BF
HPH106
NP6
真空压力传感器
BF
HPH107
NP7
真空压力传感器
BF
HPH108
NP8
真空压力传感器
BF
HPH109
NP9
真空压力传感器
BF
HPH110
NP10
真空压力传感器
BF
HPH111
NP11
真空压力传感器
BF
HPH112
NP12
真空压力传感器
BF
HPH101
NP1
真空压力传感器
BR
HPH102
NP2
真空压力传感器
BR
HPH103
NP3
真空压力传感器
BR
HPH104
NP4
真空压力传感器
BR
HPH105
NP5
真空压力传感器
BR
HPH106
NP6
真空压力传感器
BR
HPH107
NP7
真空压力传感器
BR
HPH108
NP8
真空压力传感器
BR
HPH109
NP9
真空压力传感器
BR
HPH110
NP10
真空压力传感器
BR
HPH111
NP11
真空压力传感器
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
HPH112
NP12
真空压力传感器
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-00
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
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模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HPH11
NP1
真空压力传感器
AF
HPH12
NP2
真空压力传感器
AF
HPH13
NP3
真空压力传感器
AF
HPH14
NP4
真空压力传感器
AF
HPH15
NP5
真空压力传感器
AF
HPH16
NP6
真空压力传感器
AF
HPH17
NP7
真空压力传感器
AF
HPH18
NP8
真空压力传感器
AF
HPH11
NP1
真空压力传感器
AR
HPH12
NP2
真空压力传感器
AR
HPH13
NP3
真空压力传感器
AR
HPH14
NP4
真空压力传感器
AR
HPH15
NP5
真空压力传感器
AR
HPH16
NP6
真空压力传感器
AR
HPH17
NP7
真空压力传感器
AR
HPH18
NP8
真空压力传感器
AR
HPH11
NP1
真空压力传感器
BF
HPH12
NP2
真空压力传感器
BF
HPH13
NP3
真空压力传感器
BF
HPH14
NP4
真空压力传感器
BF
HPH15
NP5
真空压力传感器
BF
HPH16
NP6
真空压力传感器
BF
HPH17
NP7
真空压力传感器
BF
HPH18
NP8
真空压力传感器
BF
HPH11
NP1
真空压力传感器
BR
HPH12
NP2
真空压力传感器
BR
HPH13
NP3
真空压力传感器
BR
HPH14
NP4
真空压力传感器
BR
HPH15
NP5
真空压力传感器
BR
HPH16
NP6
真空压力传感器
BR
HPH17
NP7
真空压力传感器
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
HPH18
NP8
真空压力传感器
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-00