NPM维护保养说明 - 第144页
NPM-D 维修篇 3.1 调节器装置的检查 [ 开始作业时 ] Page 3-2 EJM1DC-MB-03M-00 EJM4A-AB01 3.1 调节器装置的检查 [ 开始作业时 ] 使用工具 六角扳手、扳手 需要时间 [min] 5 请按照如下顺序确认各种压力是否在 规定值的范围内。 1 确认主空气压力 ( 压力表 ) 。 ∗ 压力规定值 : 0.50 MPa ~ 0.55 MPa ∗ 压力不在规定值范围时、请进行下页 所记述的 调…
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维修篇
EJM1DC-MB-03M-00 Page 3-1
3.
24
小时检查
[
日常
]
在本章中对每
24
小时需检查
1
次
(1
天
1
次
)
的项目进行说明。
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维修篇
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
Page 3-2 EJM1DC-MB-03M-00
EJM4A-AB01
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
使用工具
六角扳手、扳手
需要时间
[min]
5
请按照如下顺序确认各种压力是否在规定值的范围内。
1
确认主空气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.50 MPa ~ 0.55 MPa
∗
压力不在规定值范围时、请进行下页所记述的
调整操作。
2
确认真空泵供给压力
(
压力表
)
。
∗
请按照下一页所记载的
“
真空泵供给压力
(
压力表
)
的确认方法
”
的步骤进行确认。
∗
压力规定值
:
−
87 kPa ~
−
100 kPa
∗
压力不在规定范围时，请检查连接到设备的真
空泵。
3
确认真空解除压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 8 kPa ~ 12 kPa
∗
当压力不在规定值范围时，请按
“
真空解除压
力不在规定值范围时
”
中所示内容进行调整。
4
确认清扫吹气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.13 MPa ~ 0.14 MPa
∗
当压力不在规定值范围时，请按
“
清扫吹气压
力、线性照相机空气压力不在规定值范围时
”
中
所示内容进行调整。
5
确认线性照相机空气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.3 MPa ~ 0.35 MPa
∗
当压力不在规定值范围时，请按
“
清扫吹气压
力、线性照相机空气压力不在规定值范围时
”
中
所示内容进行调整。
5
2
3
1
4
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维修篇
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
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真空泵供给压力
(
压力表
)
的确认方法
1
按
。
2
按
。
3
按
。
4
按
[
真空输出确认
]
。
5
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
显示从灰色变换成浅蓝色，真空泵会启动。
6
确认真空泵供给压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
−
87 kPa ~
−
100 kPa
7
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
显示的颜色从淡蓝色变成灰色后真空泵将会停
止。
UnitAdjustHeadNozzleChange-03C04
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UnitAdjustHeadAirCheck-01C00
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