NPM维护保养说明 - 第145页
NPM-D 维修篇 3.1 调节器装置的检查 [ 开始作业时 ] EJM1DC-MB-03M -00 Page 3-3 真空泵供给压力 ( 压力表 ) 的确认方法 1 按 。 2 按 。 3 按 。 4 按 [ 真空输出确认 ] 。 5 按操作面板的 + [ 真空泵 ] 。 • 显示从灰色变换成浅蓝色，真空泵会 启动。 6 确认真空泵供给压力 ( 压力表 ) 。 ∗ 压力规定值 − 87 kPa ~ − 100 kPa 7 按操作面…
NPM-D
维修篇
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
Page 3-2 EJM1DC-MB-03M-00
EJM4A-AB01
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
使用工具
六角扳手、扳手
需要时间
[min]
5
请按照如下顺序确认各种压力是否在规定值的范围内。
1
确认主空气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.50 MPa ~ 0.55 MPa
∗
压力不在规定值范围时、请进行下页所记述的
调整操作。
2
确认真空泵供给压力
(
压力表
)
。
∗
请按照下一页所记载的
“
真空泵供给压力
(
压力表
)
的确认方法
”
的步骤进行确认。
∗
压力规定值
:
−
87 kPa ~
−
100 kPa
∗
压力不在规定范围时，请检查连接到设备的真
空泵。
3
确认真空解除压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 8 kPa ~ 12 kPa
∗
当压力不在规定值范围时，请按
“
真空解除压
力不在规定值范围时
”
中所示内容进行调整。
4
确认清扫吹气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.13 MPa ~ 0.14 MPa
∗
当压力不在规定值范围时，请按
“
清扫吹气压
力、线性照相机空气压力不在规定值范围时
”
中
所示内容进行调整。
5
确认线性照相机空气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.3 MPa ~ 0.35 MPa
∗
当压力不在规定值范围时，请按
“
清扫吹气压
力、线性照相机空气压力不在规定值范围时
”
中
所示内容进行调整。
5
2
3
1
4
NPM-D
维修篇
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
EJM1DC-MB-03M-00 Page 3-3
真空泵供给压力
(
压力表
)
的确认方法
1
按
。
2
按
。
3
按
。
4
按
[
真空输出确认
]
。
5
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
显示从灰色变换成浅蓝色，真空泵会启动。
6
确认真空泵供给压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
−
87 kPa ~
−
100 kPa
7
按操作面板的
+
[
真空泵
]
。
•
显示的颜色从淡蓝色变成灰色后真空泵将会停
止。
UnitAdjustHeadNozzleChange-03C04
3
2
1
4
UnitAdjustHeadAirCheck-01C00
5
NPM-D
维修篇
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
Page 3-4 EJM1DC-MB-03M-00
主空气压力不在规定值范围时
1
打开本机后侧下部的盖。
∗
请使用六角扳手拆卸
3
处螺栓。
2
用主空气调节器旋钮将数值调整到规
定值范围内。
∗
压力调整请往上升方向进行。
若往下降方向调整，压力可能降到比当初调整
压力更低的水平。
3
关闭本机后侧下部的盖。
∗
请使用六角扳手上紧螺栓。
4
确认序列号。
∗
请确认画面上显示的序列号和贴在盖上的产品
铭板序列号是否一致。
(
“
安装篇
1.2.9
序列号的确认
”)
螺栓
主空气
调节器旋钮
操作方法
1:
解除锁定状态
2:
调整
3:
锁定
主空气调节器旋钮